Gebraucht KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293742067 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein multifunktionaler Satz von software- und hardwarebasierten Plattformen, die eine automatisierte Inspektion von Halbleiterscheiben ermöglichen. Dies ermöglicht es den Herstellern, die Qualität und Integrität ihrer Produkte während der Herstellung zu gewährleisten und die Gesamtausbeute zu verbessern. Das KLA 6420 System besteht aus mehreren Elementen, die mit der Sicherstellung der Qualitätskontrolle beauftragt sind. Das Gerät umfasst eine 4D 3001 Wafer Measurement Station, die mittels X-Plasma-Inspektion subdimensionale Defekte und Verunreinigungen identifiziert. Diese Station bietet auch eine Wafer-Musterausrichtung zum Erstellen von Overlay-Messungen zur Meldung von Fehlausrichtungsproblemen. Die Maschine enthält auch eine 4D 3001 Inspektionsstation, die Near-Field Scanning Optical Microscopy (NSOM) verwendet, um die Topographie des Wafers zu überprüfen. Diese Station verfügt über acht intern gesteuerte Beleuchtungsmodi und mehrere Sensoren zur Fehlererkennung. Das Mapping-Tool 4D 3101 verwendet die Makrofehlerprüfung, um Wafer auf Kontaminationen auszuwerten, die zu einem Vermögensausfall führen können. Das Wafer-Reinigungsmodell CDS 3001 verwendet Partikelbeschuss-Technologie, um Wafer von Partikeln zu reinigen. Die Cleaner Checkstation überprüft mit einem Vier-Punkte-Messprogramm die Verschmutzungswerte vor, während und nach dem Wafer-Reinigungsprozess. Neben den software- und hardwarebasierten Plattformen nutzt TENCOR 6420 auch die Software Quality Manager. Quality Manager ist ein Werkzeug zur Prozesssteuerung, mit dem Hersteller Fertigungsprozesse erstellen, implementieren und überwachen können. Diese Software ermöglicht es Benutzern, die Variabilität zu reduzieren und die Wafer-Funktionalität zu erhöhen. Insgesamt ist 6420 eine umfassende Ausrüstung, die eine Komplettlösung für Tests und Messtechnik in der Halbleiterindustrie bietet. Es ermöglicht Anwendern, Qualitätskontrollprotokolle zu erstellen, Wafer zu messen und zu analysieren und Wafer zu reinigen, um Kontaminationen zu reduzieren. Mit Hilfe dieses Systems können Hersteller den Produktertrag verbessern, Kosten und Zeit für die Produktion reduzieren und die Rentabilität steigern.
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