Gebraucht KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293754476 zu verkaufen
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ID: 293754476
Wafergröße: 6"
Non-patterned wafer film surface analyzer, 6"
Automatic wafer handler
Defect map and Histogram
2D Signal integration
Non-contaminating robotic handler
Power supply: 208 V / 1 Phase / 16 A.
KLA/TENCOR 6420 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für eine effiziente Fehleranalyse, Charakterisierung und Reparatur im Nanometermaßstab entwickelt wurde. Es verfügt über eine integrierte Suite fortschrittlicher Hardware- und Softwaretechnologien zur genauen Identifizierung, Lokalisierung und Isolierung von defekten Partikeln in Wafern bis 200 mm. Das System besteht aus mehreren Teilsystemen, in der Regel einschließlich einer Host-Maschine, Datenerfassung Hardware und Software, Vision-Systeme und Fehleranalyse und Reparatur-Software. Der Host-Rechner kann jeder PC der Pentium-Klasse mit mindestens 512 MB RAM sein. Die Datenerfassung Hardware und Software erfasst Testergebnisse und bietet erweiterte Funktionen zur Fehlergröße, Analyse und Isolierung. Die Vision-Einheit erfasst automatisch fotografische Bilder von jedem Wafer, um genaue Details aller erkannten Fehler zu liefern. Die Software zur Fehleranalyse und -reparatur verwendet eine breite Palette von Messtechniken, um Fehler auf dem Wafer automatisch zu erkennen, zu vergrößern, zu lokalisieren und zu isolieren. Die Zuverlässigkeit und Genauigkeit der Maschine KLA 6420 wird durch fortschrittliche optische Mechanismen gewährleistet, die eine automatisierte Fokussierung und berührungslose Inspektion zur Einstellung der Optik für eine präzise Ausrichtung und Partikelgröße umfassen. Darüber hinaus verfügt die Optik des Werkzeugs über zwei digitale Autofokuskameras zur Erstellung dreidimensionaler Bilder des Wafers. Die Fehleranalyse- und Reparaturfunktionen auf TENCOR 6420 Asset nehmen in-situ Bilder von Wafern auf der Plattform auf und führen automatisch Fehlerisolierungs-, Analyse- und Charakterisierungsoperationen durch. Das Modell enthält auch fortschrittliche Rechenalgorithmen, um eine genaue Fehlererkennung, Lokalisierung und Isolierung sicherzustellen. 6420 Geräte umfassen auch eine umfassende Palette von Dienstprogrammen wie ein Rezeptmanagement-System, eine Fehlerverfolgungseinheit, eine Fehlerklassifizierung und quantitative Analysefunktionen, eine umfassende statistische Analyse und eine Dateiarchivfunktion. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein erweitertes Job-Management-Tool zur Fernverwaltung der Testoperationen. Insgesamt ist KLA/TENCOR 6420 eine leistungsfähige und zuverlässige Prüf- und Messtechnik für Wafer, die auf hohe Präzision und Genauigkeit ausgelegt ist. Die integrierte Suite an Hard- und Softwaretechnologien, kombiniert mit fortschrittlicher Optik, Vision-Systemen sowie Fehleranalyse- und Reparaturfunktionen machen das Modell ideal für eine effektive und effiziente Fehleranalyse und -charakterisierung im Nanometermaßstab.
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