Gebraucht KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293758831 zu verkaufen
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ID: 293758831
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1996
Non-patterned surface inspection system, 4"-8"
Defect sensitivity: 0.12 micron at 95% capture
Haze sensitivity: 0.02 PPM
Wavelength: 488 nm
Argon laser: 30 mw
PC Board
Blue laser
Spot size: 90 µm
Scan frequency: 170 Hz
Scan pitch: 10, 20, 40 µm
Throughput: 120/6" WPH
Single puck handling from single cassette or platform
XY Coordinates
CD ROM Writer
CIM: GEM / SECS
Operating system: Windows 98
1996 vintage.
KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein vollautomatisiertes Werkzeug, das die Aufgabe der Optimierung und Prüfung integrierter Schaltungen (ICs) auf Siliziumscheiben automatisiert. KLA 6420 bietet eine schnelle, genaue und zuverlässige Möglichkeit, große Mengen an Chips schnell und genau zu testen. TENCOR 6420 Systeme verwenden fortschrittliche optische und rechnerische Systeme, um kleine Änderungen der Größe, Form und Orientierung von Testchips auf großen Wafern zu messen. Es ist so konzipiert, dass es in seinen Anwendungen vielseitig einsetzbar ist und die Messtechnik und Prüfung einer Vielzahl von Wafertypen ermöglicht. Das System bietet schnellen, präzisen und vielseitigen Wafer-Einkauf für eine genaue und effiziente Bewertung von Chips - mit schnellem Durchsatz und Umdrehungszeiten. Die Einheit besteht aus drei Hauptkomponenten, dem optischen Kopf, der Bühne und dem Controller. Der optische Kopf enthält verschiedene optische Komponenten wie Kameras, Linsen und Leuchtdioden (LEDs), die für die Bildgebung verwendet werden. Mit Hilfe dieser Komponenten misst die Maschine genau spezifische Merkmale von Testchips wie Größe, Form und Orientierung. Die Stufe ist ein weiteres wichtiges Bauteil, das für die genaue und präzise Positionierung des Testchips auf dem Wafer verantwortlich ist. Es besteht aus einer Reihe von Präzisionsführungen und Aktoren, die den Wafer in der x-, y- und z-Achse genau und schnell bewegen. Der Controller ist das Gehirn hinter dem Werkzeug. Er steuert die Bewegung der Bühne, des optischen Kopfes und der Datenerfassungssoftware. Es enthält leistungsstarke Software, die intelligent und effizient ist und eine schnelle und genaue Messung einer Vielzahl von Testchips ermöglicht. 6420-Tool bietet auch eine Vielzahl von Softwarepaketen, die speziell auf spezifische Anwendungen zugeschnitten sind. Diese Pakete wurden entwickelt, um die Genauigkeit und den Durchsatz des gesamten Testprozesses zu verbessern. Die Softwarepakete ermöglichen auch eine Datenanalyse, statistische Prozesskontrolle und eine Vielzahl weiterer Funktionen, mit denen Benutzer ihren Testprozess optimieren können. KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology Asset bietet eine schnelle, genaue und zuverlässige Möglichkeit, große Mengen an Chips schnell und präzise zu testen. Es ist ein wesentliches Werkzeug für Halbleiter- und Elektronikhersteller, die qualitativ hochwertige Chips benötigen, um ihre Produkte herzustellen. Durch die Automatisierung des Testprozesses können Unternehmen den Durchsatz ihres Betriebs erhöhen, die Kosten für Tests senken und qualitativ hochwertige Endprodukte sicherstellen.
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