Gebraucht KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767201 zu verkaufen

ID: 293767201
Weinlese: 1996
Automatic surface inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6420 ist eine branchenführende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine schnelle und genaue Messung von Halbleiterbauelementmerkmalen ermöglicht. Dieses System kombiniert fortschrittliche Optik, digitale Bildgebung und Touchscreen-Technologie, um Anwendern eine umfassende Plattform für Wafertests und -analysen zu bieten. Die robuste Optik des KLA 6420 ermöglicht die Erfassung hochauflösender Bilder von Waferoberflächenmerkmalen sowie eine unterstützende Mess- und Fehleranalyse. Ein Wafer kann auf Toleranzen von +/-2um (Mikrometer) oder besser gemessen werden, so dass Bediener überlegene Daten bei der Bestimmung der Geräteleistung erhalten. Die Benutzeroberfläche von TENCOR 6420 basiert auf einem 19-Zoll-Touchscreen-Display, das eine intuitive, menügesteuerte Einheit für die Bedienung der Maschine bietet. Neben Standardsteuerelementen bietet das Tool auch anpassbare Benutzermenüs und eine Drag-and-Drop-Bildvergleichsfunktion. Mit seiner leistungsstarken Onboard-Bildgebung ermöglicht es 6420 Benutzern, Sub-Mikrometer-Defekte auf der Waferoberfläche zu erkennen und Reparaturen entsprechend zu erleichtern. Das Gerät enthält sowohl einen Hochleistungszoom als auch eine hohe Auflösung, die Wafer mit linearen Auflösungen von 2um/Pixel oder weniger abbilden kann. Zur fortgeschrittenen Analyse spezifischer Gerätefunktionen integriert KLA/TENCOR 6420 auch eine automatisierte Bildvergleichsfunktion. Diese kritische Funktion ermöglicht den direkten Vergleich von Bildern für subtile Änderungen oder Messung kritischer Dimensionen, wodurch der Bediener eine höhere Genauigkeit erhält. Diese Bildvergleichsfunktion ermöglicht es Benutzern auch, den Fortschritt der Geräteherstellung über die Lebensdauer eines Produktionslaufs einfach zu überprüfen und signifikante Änderungen zu identifizieren, die sich auf die Leistung auswirken könnten. Für Wafer-Tests und messtechnische Operationen umfasst KLA 6420 ein integriertes Partikelanalysepaket, mit dem Anwender Verunreinigungen auf Wafern mit unauffälliger Genauigkeit erkennen und quantifizieren können. Diese leistungsstarke Funktion liefert detaillierte und genaue Partikeldaten, die zur Überprüfung der Prozessreinheit, zur Kontrolle der Fablot-Ausbeute und zur Überwachung der Produktqualität verwendet werden können. Darüber hinaus verfügt TENCOR 6420 über eine breite Palette von Optionen und Zubehör, darunter eine automatisierte Waferstufe und automatisierte Vision-Systeme. Die Waferstufe ermöglicht automatisches Laden, Positionieren und Orientieren von Wafern, während das Vision-Asset verwendet werden kann, um die Oberflächenmerkmale eines Wafers in Echtzeit zu überprüfen. 6420 bietet eine umfassende Plattform für erweiterte Wafer-Tests und Messtechnik und bietet Anwendern modernste Bildanalyse und Partikelmessfähigkeiten. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche, der hochauflösenden Bildgebung und bahnbrechenden Messtechnik-Tools bietet KLA/TENCOR 6420 Anwendern ein leistungsstarkes Tool für erweiterte Wafertests und -messungen.
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