Gebraucht KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767210 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6420 Surfscan ist ein Wafer Testing and Metrology Equipment, das für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist in der Lage, sowohl optische als auch elektrische Eigenschaften von Wafern zu testen und zu messen und genaue und wiederholbare Daten für die Analyse bereitzustellen. Der SurfScan 6420 ist mit zwei Hauptkomponenten ausgestattet - einer WaferOptics™ Laseroptik-Abtaststufe und einem Scanpath™ Scanning-Controller. Das WaferOptics™ ist eine Hochgeschwindigkeits-, stabile und lineare Abtaststufe, die entwickelt wurde, um topologische Oberflächendaten genau und wiederholbar zu messen. Seine Encoderauflösung beträgt 0,15 Mikron mit einer Wiederholbarkeit von ± 0,01 Mikron pro Achse. Der Scanpath™ Scanning Controller enthält die proprietären Algorithmen, um die Oberflächenprofildaten zu interpretieren und in aussagekräftige Metriken umzuwandeln. Dieses System ist in der Lage, Metriken wie Nicht-Uniformitäts-Maps, Performance-Maps, Overlay-Ergebnisse und andere Wafer-Oberflächendaten zu erstellen. Das Gerät enthält auch mehrere zusätzliche Komponenten, wie ein Zoom Optics™-Modul, das einen erweiterten Sichtbereich von Niederspannungssignalen bietet. Eine fortschrittliche OPC-Maschine, die ursprünglich für den Einsatz mit KLA 193nm und 248nm Systemen entwickelt wurde, ist ebenfalls enthalten und ermöglicht eine präzise Overlay-Kalibrierung und -Ausrichtung. Das Werkzeug arbeitet im „Head-in-Hand“ Modus, was bedeutet, dass Messungen durchgeführt werden können, während der Wafer in der Anlage montiert bleibt, so dass Benutzer mehrere Messungen auf dem gleichen Wafer ohne Verlust der Positionierung oder Zeit zu nehmen. In Bezug auf Hardware und Software ist KLA 6420 Surfscan mit einem Pentium 4-Prozessor, einem Windows 7-Betriebsmodell, einer Dual-Head-Grafikkarte, 16 GB RAM und einer 32-GB-Festplatte ausgestattet. Das Gerät enthält auch eine Ethernet-Verbindung für den Fernzugriff und die Kommunikation mit anderen TENCOR-Systemen. Das Gerät ist mit verschiedenen Arten von Kundensoftware und Schnittstellen für Analyse und Automatisierung kompatibel. Schließlich ist TENCOR 6420 Surfscan voll in der Lage, quantitative Fehlererkennung und Overlay-Messtechnik. Unter Verwendung fortschrittlicher Fehlermesstechnik-Algorithmen und optischer Bildgebung ist das Gerät in der Lage, Fehler mit größerer Empfindlichkeit und Genauigkeit zu erkennen und zu klassifizieren. Dies bringt dem Benutzer mehr Informationen als herkömmliche Bildgebungs- und Wafer-Testsysteme, sodass er bessere und effizientere Entscheidungen treffen kann, die sich auf sein Ergebnis auswirken können.