Gebraucht KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293777614 zu verkaufen

KLA / TENCOR 6420 Surfscan
ID: 293777614
Automatic surface inspection systems.
KLA/TENCOR 6420 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für hochvolumige Waferprozesse und Ausbeute Zuverlässigkeit. Das System bietet sowohl schnelle als auch leistungsstarke Messungen und automatisiert den gesamten Testprozess von Chips über Wafer bis hin zur statistischen Analyse. KLA 6420 Surfscan ist das neueste Wafer-Prüfsystem der KLA/TENCOR-Serie, das in der Lage ist, präzise zerstörungsfreie Prüfmessungen für eine Vielzahl von Wafertypen zu liefern. TENCOR 6420 Surfscan nutzt die lineare Array-Technologie, um Prozessfehler wie Partikel und partikelbezogene Defekte auf der Waferoberfläche zu erkennen. Es ist mit einer integrierten Rückseitenkamera ausgestattet, um Partikel auf der Rückseite des Wafers zu detektieren. Zur präzisen Erkennung von Defekten setzt die 6420 die von TENCOR patentierte optische Oberflächenmesstechnologie ein, die mit ihrem AlphaTestTMTM-Messalgorithmus den Kontrast zwischen Partikeln und ihrer Umgebung optimiert. Darüber hinaus bietet 6420 Surfscan eine breite Palette von Funktionen, darunter die Steuerung der Abtastrate, die Kontrolle der Bildqualität und die Verteilung der Partikel. KLA/TENCOR 6420 Surfscan wurde entwickelt, um die hohen Volumenbedürfnisse bei der Verarbeitung von Halbleiterscheiben zu erfüllen. Es ist schnell, präzise und bietet Platz für eine Vielzahl von Wafertypen sowie ein Profilierungsmerkmal zur Erfassung detaillierter Maßinformationen aus dreidimensionalen Merkmalen. Mit diesem KE werden Formmerkmale wie Höhe und Krümmung gemessen. Um sicherzustellen, dass die Daten korrekt sind, verwendet KLA 6420 Surfscan auch ein eigenes statistisches Analyseverfahren, um ein Profil zu analysieren, wodurch es in der Lage ist, festzustellen, was normal oder aus Gleichmäßigkeit in der Waferoberfläche ist. Die Sondierungseinheit von TENCOR 6420 Surfscan minimiert das Risiko einer Beschädigung von Wafern während der Inspektion. Der Wafer wird mehrfach gescannt, um genaue Messungen auf dem gesamten Wafer zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Vielzahl von Fehlerüberprüfungs- und Klassifizierungsmerkmalen, wodurch Fehler im Feld schnell erkannt und klassifiziert werden können. Dies hilft, Prozessprobleme schnell zu identifizieren und die Entscheidungsfindung zu beschleunigen. 6420 Surfscan ist aufgrund seiner robusten Genauigkeit und Zuverlässigkeit ein Muss in Laboratorien zur Halbleiterherstellung. Mit seinen schnellen Messungen, schnellen Fehlerüberprüfungs- und Klassifizierungsprozessen bietet KLA/TENCOR 6420 Surfscan eine der zuverlässigsten Wafertests und Messtechniken für Produktions-Wafertests.
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