Gebraucht KLA / TENCOR 6420 Surfscan #9180714 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan Platform ist eine All-in-One, hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften und topographischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben. Es wurde entwickelt, um die Prozessausbeute zu verbessern, die Prozesskontrolle zu erhöhen und die Geräteleistung sicherzustellen. Das Surfscan-System KLA 6420 ist auf einer modularen Plattform aufgebaut und erfordert eine ausgeklügelte, geschlossene In-situ-Messeinheit. Das Gerät integriert optische Messtechnik, berührungslose elektrische Messung und Waferinspektion. Es erzeugt eine gleichzeitige Messung der elektrischen Eigenschaften und der Wafertopographie von bis zu 5 Stellen auf einem Wafer. TENCOR 6420 Surfscan-Maschine wird von der KLA InSight-Technologie angetrieben, einer integrierten Messtechnik-Plattform, die Rasterelektronenmikroskopie, konfokale Mikroskopie, quantitative Oberflächenmesstechnik und elektrische Messung kombiniert. Diese Technologie bietet hochauflösende, umfassende Messungen, die die elektrischen Eigenschaften und die Oberflächenmorphologie des Wafers quantifizieren. Das Werkzeug ist auch in der Lage, gleichzeitige Messungen an mehreren Stellen auf dem Wafer. Elektrische In-situ-Messung elektrischer Eigenschaften erfolgt mit dem Prometric 6420 Wafermodul. Dieses Modul ist in der Lage, berührungslose, kraftarme elektrische Messungen an Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll zu ermöglichen. Dieses Modul kann sowohl Hoch- als auch Niederfrequenzsignale über den Wafer messen, um elektrische Parameter wie Ladungsentladungsspannung, Stromwege, Oberflächenwiderstand, Dielektrizitätskonstante, Leckage und Kapazität zu identifizieren. Die optischen messtechnischen Fähigkeiten von 6420 Surfscan bieten eine präzise und genaue topographische und Oberflächenprofilierung auf dem Wafer. Dieses Modul verwendet eine proprietäre Suite von Lichtquellen und Präzisionsoptiken, um Oberflächenrauhigkeit, Oberflächenstruktur und Waferdicke genau zu messen. Es ist auch in der Lage, sowohl High-und Low-Power-Messtechnik-Scans auf der Oberfläche und Höhe Profile des Wafers. Die integrierten optischen und elektrischen Wafer-Inspektionsscans liefern Anwendern detaillierte Daten über Anomalien oder Defekte im Wafer. Die visuelle Fehleranalyse des Vermögenswertes führt eine volle 270 Grad automatische Inspektion der Waferoberfläche auf der Suche nach Anomalien durch. Verunreinigungen oder Mängel können identifiziert, klassifiziert und verfolgt werden, wenn sie sich durch den Prozess bewegen. TENCOR prometrische PROMETRIX 6420 Surfscan Plattform ist ein vielseitiges Wafer-Test und Messtechnik-Modell, das in der Lage ist, genaue und umfassende elektrische und messtechnische Analyse zu bieten. Sie ermöglicht es Herstellern, eine korrekte elektrische Leistung und topographische Merkmale ihres Wafers sicherzustellen, was letztlich die Prozessausbeuten und die Geräteleistung verbessert.