Gebraucht KLA / TENCOR 6420 #293609510 zu verkaufen

KLA / TENCOR 6420
ID: 293609510
System.
KLA/TENCOR 6420 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation, die entwickelt wurde, um die vollständige berührungslose Maßprüfung über die gesamte Waferoberfläche mit verbesserter Genauigkeit zu gewährleisten. Das System ist für hohe Serienleistungen optimiert und unterstützt die neuesten Waferdurchmesser. Es verfügt über einen proprietären, kalibrierten Bildgebungsdetektor, der eine echte In-Line-topographische Bildgebung bietet und eine hochgenaue Prozessausbeute-Analyse ermöglicht. Die KLA 6420 ist modular aufgebaut und vereinfacht die Installation und Wartung. Es verfügt über eine robuste, einseitige Zugangsplattform, die den Platzbedarf im Vergleich zu herkömmlichen doppelseitigen Zugangssystemen reduziert. Die optionalen AC-motorisierten Stufen sorgen für eine überlegene dynamische Ausrichtung und ermöglichen höhere Beschleunigungen und einen schnelleren Durchsatz. Die Stufen verfügen über eine erweiterte optische Encodereinheit und eine Nanometerauflösung, die hochpräzise und reproduzierbare Ausrichtungs- und Messwerte im gesamten Wafer bereitstellt. TENCOR 6420 verfügt auch über eine hocheffiziente Bildverarbeitungsmaschine, die fortschrittliche intelligente Sensor Front-End und digitale Signalverarbeitung umfasst. Dies ermöglicht eine schnelle, genaue Vollfeldbildaufnahme mit Auflösung bis auf einen Sub-Micron-Level. Das bildgebende Werkzeug bietet eine doppelte gleichzeitige Ausrichtung, so dass der Benutzer die vollständige Waferoberfläche auf die Pixelebene zuordnen kann, ohne auf eine Karte zu warten, um die Bildung abzuschließen. Um die Messgenauigkeit und Ausbeute weiter zu maximieren, verwendet 6420 eine proprietäre in-situ optische Messtechnik namens AugerScan™, die Schneckenelektronen verwendet, um Oberflächenmerkmale in drei Dimensionen zu detektieren. AugerScan-Technologie wird auch verwendet, um Prozessausbeute mit Wiederholbarkeit besser als 0,01 ppm zu bestimmen. In Kombination mit der fortschrittlichen Bildverarbeitung ermöglicht dieses Asset eine überlegene Prozesscharakterisierung und Fehleranalyse. Der 6520 ist mit einer Reihe fortschrittlicher Software-Tools zur Datenspeicherung und -verarbeitung ausgestattet. Es bietet detaillierte Messprüfungen mit grafischen Anzeigen und umfassenden Analysen für ein umfassendes Ertragsmanagement. Das Modell bietet auch vollen Fernzugriff von jedem vernetzten PC, so dass Benutzer Messwerte und Leistungsdaten von jedem Ort aus überwachen können. KLA/TENCOR 6420 ist eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller und Einrichtungen, die nach einer zuverlässigen, leistungsstarken Ausrüstung für die Prüfung und Messtechnik suchen. Mit seinen fortschrittlichen Bildgebungs- und Erfassungsfähigkeiten, hoher Präzision und wiederholbaren Messungen bietet dieses System eine schnelle und zuverlässige Prozessertragsanalyse und Fehlererkennung. Insgesamt ist KLA 6420 eine ideale Einheit für Wafertests und messtechnische Anforderungen.
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