Gebraucht KLA / TENCOR 6420 #293656103 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6420 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die bis zu 8 Wafer parallel analysieren kann. Es verfügt über eine ultrahochauflösende Kombination aus optischer Interferometrie, konfokaler Mikroskopie und anderen bildgebenden Technologien. Das System kann mehrere Parameter eines einzelnen Geräts oder mehrerer Strukturen auf einem einzelnen Wafer mit hoher Genauigkeit in nur wenigen Minuten messen. Die Wafer-Prüf- und Messtechnik umfasst ein hochpräzises, dreidimensionales Interferometer, das sowohl die Oberflächentopographie als auch die optische Dünnschichtdicke misst. Die Maschine verfügt auch über einen Doppeldetektor, der extreme Flexibilität bei der Analyse einer Vielzahl verschiedener Strukturen bietet, die auf dem Wafer vorhanden sein können. Es kann Merkmale wie Widerstand, kritische Dimensionsdicke usw. messen. Die Werkzeuge an Bord der KLA 6420 bieten zudem eine leistungsstarke Reihe von Datenanalysefunktionen, mit denen strukturelle, elektrische und lithographische Defektfunktionen in mehreren Dimensionen identifiziert werden können. Es ist in der Lage, Schichthöhe und Seitenwandwinkel Informationen zu extrahieren, Peak-Valley-Analyse, und die Berechnung von Krümmung und Rauheit sowie. Es ist auch mit einer impulssynchronen Detektionstechnologie ausgestattet, die die gleichzeitige Erfassung mehrerer topographischer Messparameter aus einer Vielzahl von Strukturen ermöglicht. TENCOR 6420 verfügt zudem über eine ausgeklügelte grafische Benutzeroberfläche, die den Datenerfassungsprozess vereinfacht. Es kann mehrere Wafertests gleichzeitig ausführen, während es Daten, Grafiken und Bilder der gemessenen Messungen anzeigt. Das Tool bietet auch eine Vielzahl von verschiedenen Softwarepaketen, wie Software für die Erzeugung von CMP (Chemical Mechanical Polishing) Karten, die verwendet werden können, um die Planarität über die gesamte Oberfläche eines Wafers zu analysieren. Leistungsstark und vielseitig, 6420 ist ein Top der Linie Wafer-Test und Messtechnik-Asset, die genaue und zuverlässige Daten über mehrere Testparameter bietet, so dass Produktionsingenieure und F & E-Personal schnell Gerät oder Struktur Fehler mit Leichtigkeit identifizieren.