Gebraucht KLA / TENCOR 7000 Surfscan #9037841 zu verkaufen
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ID: 9037841
Weinlese: 1991
Patterned wafer contamination analyzer.
Wafer surface scanner particle inspection
(3) Time count meters: 57132.86, 604, 25761
(1) HP Hewitt Packard PaintJet (Model: 3630A)
(1) Cyonics laser power supply
(1) Qualidyne power supply (Model: QML)
Push latch unlocking mechanism along bottom door
1991 vintage..
KLA/TENCOR 7000 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die fortschrittliche Automatisierungs- und Messtechnik-Funktionen bietet. Es wurde entwickelt, um wiederholbare Ergebnisse und erhöhten Durchsatz für Halbleiterbauelemente zu liefern. Das System wird verwendet, um kritische Parameter wie Linienbreite, Overlay, CD usw. von integrierten Schaltkreis (IC) Wafern mit hoher Präzision und Genauigkeit zu messen. Es ist eine vollautomatische Einheit mit einem modularen Aufbau für effizienten Betrieb und einfache Aufrüstung. Es besteht aus einem CCD-Sensor zur Bildgebung von Wafern, dem Hauptrahmen für die Messtechnik und einer Robotertransfermaschine zur präzisen Ausrichtung von Wafern. Der CCD-Sensor enthält die neuesten Technologien für die 3D-Profilierung bis zu 8µm. Es ist auch mit einem Iris-Beleuchtungswerkzeug ausgestattet, das die korrekte Ausleuchtung der Maßnahmen gewährleistet. KLA 7000 Surfscan bietet eine Vielzahl von Wafermessungen in Einzelchip-, Multi-Düsen- und Bump-Strukturen bis zu Schichten 40. Es kombiniert 3D-Nanosurf-Messtechnik und einen Cluster von IBIS-Testschlüsseln zu einem einzigen, konfigurierbaren Asset. Dies ermöglicht die Prozesssteuerung und Fehlersuche in großvolumigen Fertigungslinien. Seine schnelle und zuverlässige messtechnische Kalibrierung macht das Modell ideal für Produktionslinien, in denen Flexibilität und hoher Durchsatz gefordert sind. TENCOR 7000 Surfscan ist auch hoch erweiterbar und verfügt über mehrere Testmodi, um traditionelle und aufstrebende Technologien abzudecken. Es kann mit verschiedenen Optionen wie in-situ OTP oder Overdrive-Tests ausgestattet werden, um die Leistungsausbeute auf verschiedenen Losebenen zu messen. Es unterstützt auch mehrere Overlay- und Inspektionsoptiken wie halbreflektive oder konkave Optik. Insgesamt ist 7000 Surfscan eine umfassende Wafer-Prüf- und Messtechnik für Halbleiterproduktionsanwendungen. Es bietet hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, hohen Durchsatz, Flexibilität und Skalierbarkeit. Sein modularer Aufbau macht es einfach, sich in bestehende Geräte zu integrieren und seine fortschrittlichen messtechnischen Fähigkeiten helfen, Produktionslinien auf dem neuesten Stand und zuverlässig zu halten.
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