Gebraucht KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293658685 zu verkaufen

KLA/TENCOR 7600 Surfscan ist eine führende Prüf- und Messtechnik für Wafer, die speziell auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. KLA 7600 Surfscan ist mit branchenführenden Systemen wie einem fortschrittlichen optischen System zur hochauflösenden Waferinspektion, 3D-Tiefenmessung und lithographischen Steuerung des Halbleiterproduktionsprozesses ausgestattet. Die erweiterte optische Einheit in TENCOR 7600 Surfscan hat einen NA von 0,35 und ein großes Sichtfeld (FOV) von bis zu 4 mm. Dadurch können Fehler auch bei höheren Wafergeschwindigkeiten mit hoher Auflösung und Genauigkeit erkannt werden. Darüber hinaus kann die optische Maschine mit einem integrierten Laserinterferometer für eine hochgenaue 3D-berührungslose Messtechnik kombiniert werden. Dies ermöglicht eine umfassende Messtechnik des Wafers, wie Topographie, Fehlerhöhen und Flachheitsmessungen.7600 Surfscan unterstützt auch die automatisierte Fehlererkennung, -erkennung und -klassifizierung mit der KLA-proprietären HS-PS-Technologie. Diese Technologie nutzt Mustererkennungsalgorithmen, um zwischen Partikeln, Ätzanomalien, strukturellen und Suboberflächendefekten zu unterscheiden. Das Metrologie-Tool von KLA/TENCOR 7600 Surfscan wurde entwickelt, um maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Es verwendet einen hochauflösenden RGB-Detektor, einen einstellbaren Strahlwinkel und Farbfilter mit hohem Kontrast, um eine Reihe anspruchsvoller Wafermessungen und -analysen durchzuführen. Dieses Asset ist auch in der Lage, mehrere Ebenen und Fehlertypen zu erkennen, einschließlich Leerstellen, Gruben, Vorsprünge, Tiefenvariationen und Verläufe. KLA 7600 Surfscan bietet außergewöhnliche Verfügbarkeit und schnelle Durchlaufzeiten für die Waferbearbeitung. Es wurde mit modernster Technologie entwickelt, einschließlich eines hochpräzisen Wafer-Handhabungsmodells, Steuerungskomponenten, Software und einer leistungsstarken Automatisierungsplattform. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200mm inspizieren und bis zu 8 Wafer pro Stunde verarbeiten. Insgesamt ist TENCOR 7600 Surfscan ein hochentwickeltes Werkzeug für Wafertests und Messtechnik. Mit seiner spezialisierten optischen Ausrüstung und dem integrierten Laserinterferometer bietet es eine überlegene Fehlererkennung, 3D-berührungslose Messtechnik und automatisierte Fehlerklassifizierung. 7600 Surfscan ist ein unschätzbares Werkzeug für Halbleiterhersteller, die Genauigkeit und Zuverlässigkeit für ihre Produktionsprozesse benötigen.