Gebraucht KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293662763 zu verkaufen

ID: 293662763
Wafergröße: 8"
Wafer inspection system, 8".
KLA/TENCOR 7600 Surfscan ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät zur Sondierung und Oberflächencharakterisierung von Wafern und dielektrischen Oberflächen. Es basiert auf proprietären interferometrischen Technologien, die es dem System ermöglichen, die topographischen Eigenschaften der Oberflächen wie Oberflächenebenheit, Partikelzahlen und Messungen kritischer Abmessungen genau zu beurteilen. KLA 7600 Surfscan ist für die Prozesssteuerung und Inline-Inspektion in einer typischen Halbleiterherstellungsumgebung konzipiert. Es zeichnet sich durch geringen Stromverbrauch aus und kann in einer Vielzahl von Anwendungen zur Messung von Wafer-Oberflächentopologie und Defekten eingesetzt werden. Das Instrument arbeitet im berührungslosen Modus und ermöglicht es, verschiedene dielektrische Oberflächen zu sondieren und abzubilden. Seine hochpräzisen Topographiemessungen können mikroskopische Schwankungen der Oberflächeneigenschaften wie Schritthöhen, Überhang, Gräben und Rillen erkennen. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Analysewerkzeugen ausgestattet, die die Bestimmung kritischer Defekteigenschaften wie Partikelgröße und -verteilung, Linienbreite und reduzierte Oberflächenrauhigkeit erleichtern. Es verfügt auch über integrierte Reporting-Funktionen, die einen einfachen Vergleich von Prozessen im Laufe der Zeit und zwischen mehreren Wafern ermöglichen. Darüber hinaus kann TENCOR 7600 Surfscan an andere Prozessleitsysteme wie Thermooxid-Messsysteme angeschlossen werden, so dass Anwender den Messvorgang in einen größeren Prozess-Control-Workflow integrieren können. Das Instrument verfügt über einen hochauflösenden CCD/CMOS-Sensor mit einer Auflösung von 0,45 µm. Dies gewährleistet höchste Präzision und Wiederholbarkeit für die Oberflächenanalyse. Es verwendet auch digitale Signalverarbeitung und 12-Bit oder höhere Auflösung, um überlegene Driftstabilität und Leistung zu liefern. 7600 Surfscan verfügt über automatisierte Scanfunktionen, mit denen Benutzer mehrere Wafer schnell und einfach bearbeiten können. Dies ist insbesondere in Produktionsanwendungen nützlich, bei denen eine Vielzahl von Wafern schnell und nach Industriestandards analysiert werden müssen. KLA/TENCOR 7600 Surfscan ist eine zuverlässige und einfach zu bedienende Wafertest- und Messtechnik-Maschine, die Anwendern branchenführende Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Seine fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten stellen sicher, dass Prozesskontrolle und Inline-Tests schnell und effizient durchgeführt werden, wodurch ein hohes Maß an Geräteausbeute und -qualität gewährleistet wird.
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