Gebraucht KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293747974 zu verkaufen

KLA/TENCOR 7600 Surfscan Maschine ist eine anspruchsvolle Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung. Speziell für die Halbleiterproduktion entwickelt, bietet diese Maschine hochauflösende berührungslose 2D-Mapping-Inspektionen, die potentielle Fehler auf Halbleiterscheiben auf Sub-Mikron-Ebene erkennen und analysieren können. Die Maschine nutzt fortgeschrittene optische Zeichenerkennung (OCR) Technologie, um verschiedene Waferoberflächen zu erkennen. Das System bietet Funktionen wie hohen Durchsatz, hochauflösende Inspektion, hochgenaue Fehlererkennung, breites Sichtfeld, kurze Zykluszeit und eine benutzerfreundliche Windows NT-Umgebung. Im Betrieb beginnt die Surfscan-Einheit KLA 7600 damit, dass ein Pick-and-Place-Roboter Wafer aus der Eingangskassette bezieht und auf der Wafer-Handling-Station positioniert. Der Wafer wird dann von einem Smart-Stigmator-Ausrichtungstunnel inspiziert, der die Oberflächentopographie genau misst, um die exakte Anbringung der Wafer auf der Prüfplatte zu bestimmen. Ein Luftschieber bewegt dann den Wafer zur Maschineninspektion in die Messebene. Zur Erkennung und Messung von Waferdefekten auf der Sub-Mikron-Skala werden hochempfindliche, rauscharme optische Detektoren eingesetzt. Die fortschrittliche OCR-Technologie und die integrierten Algorithmen der Maschine bieten eine hervorragende Erkennungsgenauigkeit und unterscheiden präzise zwischen kritischen und nicht kritischen Fehlern. Mängel, die für die Erkennung als zu klein oder komplex befunden werden, können in einer „Toolbox“ markiert und weiter überprüft werden. Die hochauflösende Bildgebung wird von den vier Hochgeschwindigkeits-Scanköpfen des Werkzeugs durchgeführt. Die Scanköpfe sind in der Lage, bis zu vier Datenzeilen mit bis zu 50nm vertikaler Auflösung bereitzustellen. Diese Scanköpfe können die Oberfläche des Wafers mit bis zu 6.5kHz Scanrate verfolgen. Schließlich ist TENCOR 7600 Surfscan mit intuitiver Software ausgestattet, die die Anzeige von Testergebnissen in einfacher grafischer Darstellung ermöglicht. Alle gemessenen Daten werden vor Ort gespeichert und stehen zum Export oder Transfer zur Verfügung. 7600 Surfscan ist ein effizientes und zuverlässiges Wafer-Test- und Messtechnik-Asset. Die Kombination aus fortschrittlicher Inspektionstechnologie und intuitiver Benutzeroberfläche macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Halbleiter-Wafer-Produktion.