Gebraucht KLA / TENCOR 7600M Surfscan #293639668 zu verkaufen

KLA/TENCOR 7600M Surfscan ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Halbleiter-Wafer-Produktion. Es soll Halbleiterherstellern helfen, ihre Gesamtausbeute und Produktqualität zu steigern, indem es genauere und vollständige Messungen der Waferoberfläche einschließlich der physikalischen und chemischen Eigenschaften der darauf abgelagerten Materialien bereitstellt. Der Surfscan 7600M verfügt über zwei Hauptkomponenten: ein fortschrittliches Wafer-Level-Imaging-System und ein fortschrittliches Metrologie-Subsystem. Seine Abbildungseinheit auf Waferebene ist in der Lage, Bilder mit einer Auflösung von 5 Mikrometern zu erfassen und Partikel und Defekte bis auf 1 Nanometer zu detektieren. Es kann auch eine breite Palette von Waferoberflächenmerkmalen wie Korngröße, Oberflächenrauhigkeit und Verschmutzungsstufen lesen und analysieren. Das fortschrittliche Metrologie-Subsystem des Surfscan 7600M umfasst ein erweitertes Interferometriemodul, eine Breitband-Ellipsometrie-Maschine und eine Die-to-Wafer-Scanning-Station. Das Interferometriemodul kann die Topographie einer Probe in drei Dimensionen mit einer Auflösung von 0,25 Nanometern messen. Das Breitband-Ellipsometrie-Werkzeug kann die optischen Eigenschaften einer Probe mit einer Auflösung von 0,5 Nanometern messen, und die Die-to-Wafer-Abtaststation kann die Größe, Form und Orientierung einer Probe mit einer Genauigkeit bis zu 0,1 Nanometer messen. Die Surfscan 7600M hat auch eine Reihe von erweiterten Funktionen, die es einfach zu bedienen und in eine moderne Halbleiter-Fertigungslinie integrieren. Es ist mit einem automatisierten Alignment-Asset ausgestattet, das den Wafer für genaue Messungen am Modell ausrichtet. Es verfügt auch über eine erweiterte Wafer-Erkennungsausrüstung, die bis zu 24 verschiedene Arten von Wafern erkennen und erkennen kann. Schließlich wird es mit einer kompletten Software-Suite geliefert, die kundenspezifische Analyse-, Datenmanagement- und Berichtsfunktionen bietet. Insgesamt ist KLA 7600M Surfscan ein fortschrittliches Wafer-Prüf- und Messsystem, das Halbleiterherstellern zuverlässige und genaue Waferoberflächenmessungen bietet. Seine modernsten bildgebenden und messtechnischen Fähigkeiten, kombiniert mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen, machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für verbesserte Waferausbeute und Produktqualität.