Gebraucht KLA / TENCOR 7600M Surfscan #9265522 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 7600M Surfscan ist ein führendes Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das für den Einsatz auf Produktionsebene geeignet ist. Es ist mit fortschrittlicher Multi-Zone-Musterbildsensortechnologie ausgestattet, die einen hohen Durchsatz und genaue Ergebnisse liefert. Diese Einheit deckt die wesentlichen Prozesssteuerungsanforderungen der Halbleiterherstellung, des Flachbildschirms und der optoelektronischen Geräteindustrie ab. Das Design von KLA 7600M Surfscan verfügt über eine sehr benutzerfreundliche Oberfläche, die einfache und schnelle Wafertests und messtechnische Operationen ermöglicht. Die Maschine ist mit einem zweifach lasergemusterten Bildaufnahmemodul ausgestattet, das eine präzise Bestimmung der Fehlerstelle, Größe, Form und anderer Merkmale gewährleistet. Es enthält auch eine standardmäßige automatisierte optische Autofokus-Fähigkeit sowie ein dreidimensionales Reliefwerkzeug zur Erfassung ultrahochauflösender Bilder von komplexen Merkmalen auf Wafern. TENCOR 7600M Surfscan wurde entwickelt, um eine breite Palette von Wafern bis zu 8 "Durchmesser zu handhaben und ist mit einem Alignment Asset ausgestattet, das dedizierte dicke und dünne Wafer-Sensoren, ein einzelnes Element- und Multielement-Fokus-Modell sowie ein Galvanometer umfasst, das das schnelle Scannen der Oberfläche erleichtert. Darüber hinaus verfügt dieses Gerät über die Möglichkeit, bis zu 8 Wafer gleichzeitig zu scannen, was zu einem erhöhten Durchsatz führt. Das System umfasst eine integrierte Fehlerüberprüfungsstation mit dedizierter Software zur manuellen Überprüfung einer Vielzahl von Fehlertypen. Es bietet auch eine optionale Einheitenarchitektur für die schnelle Einrichtung und Wiederaufbereitung von ausgefallenen Wafern. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wafer nicht nachbearbeitet werden, wenn ihre Mängel nicht sofort behoben werden können. Darüber hinaus ist die eingebettete Messtechnik-Software in der Lage, präzise berührungslose Waferoberflächenmessungen durchzuführen. Zusammenfassend ist 7600M Surfscan eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die eine umfassende Reihe von Funktionen bietet, die genaue und schnelle Wafer-Prüf- und Messtechnik-Operationen ermöglichen, einschließlich Fehlerprüf- und Messtechnik-Software für manuelle und automatisierte Inspektion. Mit seinem leistungsstarken, strukturierten Bildsensormodul, der automatisierten Optik und anderen Funktionen sorgt dieses Tool für einen hohen Durchsatz und zuverlässige Ergebnisse.
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