Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293592610 zu verkaufen

KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik. Ausgestattet mit einer leistungsstarken optischen Mikroskopiestufe, kann es Oberflächeneigenschaften von Halbleiterscheiben und Substraten messen und analysieren. Das System ist in der Lage, leistungsstarke, zuverlässige und genaue Ergebnisse für routinemäßige und komplexe Charakterisierungsanwendungen zu liefern. Der Surfscan 7700 wird mit einem dualen TMS200 Bildverarbeitungs- und Bildanalyseprozessor betrieben. Es ist mit einer leistungsstarken 8 „x 8“ Kippübersetzungsstufe und einer 4-stufigen automatischen Laser-Deskew-Einheit ausgestattet. Die Plattform verfügt zudem über eine hochempfindliche motorisierte Z-Fokus-Maschine, die eine präzise Höhenverstellung und einen präzisen Messbereich von bis zu 10 Mikrometern ermöglicht. Der Surfscan 7700 bietet eine breite Palette an messtechnischen Funktionen für Wafer, einschließlich CD, Uniformity, Traceability und Profilmessungen. Es kann auch quantitativ messen, historische und dynamische Parameter wie Oberflächenrauhigkeit, Durchschnittshöhe, Welligkeit, Schritthöhe, Mikrograben, Absetzen und Bogen. Das Tool ist kompatibel mit einer Reihe von fortschrittlichen optischen Zubehör, einschließlich dynamische Polarisationsplattformen, schräge Winkelbeleuchter, künstliche Defekt-Generatoren und Dunkelfeld-Beleuchter. Es verfügt auch über ein proprietäres Lichtstreifenmerkmal, das die Beleuchtungsgleichförmigkeit im Sichtfeld weiter verbessert. Neben Wafer-Messtechnik bietet der Surfscan 7700 auch Wafer-Fehleranalysefunktionen. Es kann verschiedene Arten von nicht sichtbaren Defekten wie Partikelfehler, Strukturfehler und Grenzflächenfehler erkennen. Mit Hilfe seiner High-End-Sensor- und Scanning-Systeme kann es Partikeldefekte von weniger als 200nm genau erkennen und zählen. Der Surfscan 7700 verfügt auch über eine erweiterte integrierte Feedback-Steuerung, die es dem Modell ermöglicht, sich dynamisch an veränderte Umgebungsbedingungen anzupassen, um eine optimale Bildgebungsleistung und -genauigkeit zu erhalten. Darüber hinaus ermöglicht die kompakte Bauweise eine einfache Installation in einer Vielzahl von Laboraufbauten. Zusammenfassend ist KLA 7700 Surfscan eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Metrologie-Ausrüstung, die zur Wafer-Oberflächencharakterisierung, Wafer-Fehleranalyse und Umgebungs-Feedback-Kontrolle verwendet werden kann. Es bietet eine breite Palette an erweiterten Funktionen, hervorragende Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit, einfache Installation und ausgezeichnete Bildgebungsleistung.