Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293654401 zu verkaufen

KLA/TENCOR SFS 7700 ist eine automatisierte Messtechnik und Wafer-Testausrüstung, die entwickelt wurde, um fortschrittliche, Inline-Messtechnik und Fehleranalysen während des Halbleiterherstellungs- und -herstellungsprozesses zu ermöglichen. Dieses System bietet sowohl hochauflösende dreidimensionale Bildgebung von Teststrukturen auf dem Wafer als auch fortschrittliche automatisierte Messungen, die eine nahezu sofortige Rückkopplung kritischer Prozessergebnisse ermöglichen. Gemeinsam ermöglicht diese umfassende Technologie eine umfassende Fehleranalyse, Qualitätskontrolle und Prozessoptimierung mit beispielloser Genauigkeit und Kontrolle des Waferprozesses. KLA SFS 7700 bietet höhere 3D-Vergegenwärtigungsfähigkeiten mit einer Vielfalt an, Techniken, einschließlich der heimischen optischen Mikroskopietechnologie und einer schnelllaufenden Abtastung des Elektronmikroskops (SEM) darzustellen. Darüber hinaus verfügt dieses Gerät über fortschrittliche Szenenrekonstruktionsalgorithmen für automatisierte 3D-Funktionen, die sowohl eine erhöhte Geschwindigkeit als auch Genauigkeit bieten. Die 7700 beinhaltet auch ein proprietäres Messtechnik-Paket, das die Größe, Formen und Topologie von Funktionen schnell und präzise messen kann. Die 7700 umfasst auch eine Datenerfassungsmaschine (DAS), die Datenanalysefunktionen in drei Bereichen bietet: Testwaferanalyse, Echtzeit-Prozesssteuerung und Prozessrenditeoptimierung. Die Testwafer-Analysekomponente liefert detaillierte Merkmalskarten, die Ertragsverbesserungspläne informieren, während die Echtzeit-Prozesssteuerungskomponente Informationen zur Inline-Qualität und Prozesserkennung auf der einzelnen Waferebene liefert. Schließlich führt die Prozessrenditeoptimierungskomponente Waferqualitätsverbesserungspläne und warnt frühzeitig vor Prozessdrift und unerwünschten Trends. Darüber hinaus bietet das 7900-Tool leistungsstarke, aber flexible Fehleranalysefunktionen, mit denen Prozessingenieure Prozessanomalien ermitteln können. Der 7900 nutzt eine optimierte Kombination von Techniken, um potenzielle Fehler wie Die-to-Die-Vergleiche, Messtrendanalyse, Cross-Wafer-Analyse, Farbkartenkorrelationen und andere exakt zu erkennen, um mögliche Fehlertreiber zu ermitteln. Darüber hinaus kann diese Ressource für Inline-Tests und Prozessüberwachung automatisiert werden, was eine verbesserte Prozesssichtbarkeit und Feedback-Fähigkeit bietet. Insgesamt bietet TENCOR SFS 7700 ein leistungsstarkes Intra-Wafer-Testmodell, das eine detaillierte Prozesskontrolle, erweiterte Fehlererkennung und Optimierungsfunktionen bietet, um die Fertigungs- und Fertigungserträge von Halbleitern zu verbessern. Die umfassenden messtechnischen und bildgebenden Funktionen dieses Geräts, gepaart mit seiner automatisierten Datenanalyse und Fehlererkennung, bieten Anwendern die Möglichkeit, den Halbleiterherstellungsprozess schnell und genau zu überwachen und anzupassen, um die Leistung und Produktqualität zu verbessern.