Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655833 zu verkaufen

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 293655833
Wafergröße: 6"
Particle inspection system, 6".
KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät zur Charakterisierung von Halbleiterscheiben. Es bietet Rasterelektronenmikroskopie (SEM) mit Sekundärelektronen und Rückstreuungen zur Erfassung der Topographie und Abtastung von Wechselstrom- und Gleichstromsystemen zur elektrischen Auswertung und Fehlerdiagnose. Das SEM-System umfasst den 7700ES Rapid Scanner für Hochdurchsatz, Low-Dose-Mapping; der 7700FS Fine Scanner für präzise, hochauflösende Messungen; und das 7700SD Rasterkapazitätsmikroskop (SCM) für lokale Kapazitätsmessungen. Die AC/DC-Einheit umfasst die AC/DC-Messkanäle für hochleistungsfähige elektrische Messungen und die AC/DC-Analysemaschine für die Analyse von Datensätzen. Das Tool eignet sich besonders für fortgeschrittene Knotenanwendungen mit mindestens 65nm CDs. KLA 7700 Surfscan bietet überlegene Messsicherheit und Leistung zu geringen Kosten. Das AC/DC-Asset verwendet einen Frequenzbereich-Algorithmus, der es ermöglicht, ultraschnelle Geräte zu messen und kritische Fehler zu erkennen und zu charakterisieren, die von anderen Systemen übersehen werden können. Die ES und FS Scanner haben schnelle Abtastgeschwindigkeiten und einen hohen Dynamikbereich, der genaue Messungen und Fehlercharakterisierung von 3D Topographie- und Phasenänderungsstrukturen ermöglicht. Der integrierte Controller und der 16-Bit-A/D-Wandler des SD SCM bieten Signalabtastung und Messgenauigkeit auf 100 Nanometer. TENCOR 7700 Surfscan bietet zudem eine leistungsstarke Software-Suite zur Analyse und Visualisierung der Daten. Die Surfview TSR-Software ermöglicht es Benutzern, Daten schnell, einfach und präzise zu analysieren und die Testergebnisse für die Gesenke anzuzeigen. Die Prüfsoftware FASt bietet Werkzeugvorkonfigurationen und Standardeinstellungen, so dass Operatoren eine automatische Einrichtung für bestimmte Anwendungen durchführen können. Die Smart Review-Software ist eine Windows-basierte Anwendung bietet eine benutzerfreundliche Umgebung für die schnelle Suche nach Fehlern auf einer großen Anzahl von Wafern. Zusammenfassend ist 7700 Surfscan ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologiemodell, das in der Lage ist, hervorragende Messsicherheit und Leistung zu bieten. Seine vielseitige Suite an Instrumenten und Software macht es zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene Knotenanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor