Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293747975 zu verkaufen

KLA/TENCOR 7700 ist eine vollautomatische Wafer-Prüf- und Messtechnik. Das System ist in der Lage, 8-Zoll und 12-Zoll-Wafer zu handhaben und wird verwendet, um elektrische und optische Eigenschaften auf Wafern, ICs und MEMS zu messen. Das Gerät verwendet ein integriertes Mikroskop, einen optischen Digitalisierer, bildgebende Systeme und benutzerprogrammierbare Roboterstufen, um verschiedene Merkmale in einer einzigen Umgebung zu messen. KLA 7700 verfügt über eine Auflösung von 3,4 Nanometern für optische Messungen und seine breite Palette von Sensoren für verschiedene bildgebende Techniken, so dass es ideal für die Gerätekennzeichnung, Fehlersuche und Fehleranalyse ist. Die bildgebende Optik von TENCOR 7700 umfasst Helligkeits-, Dunkelfeld-, Polarisations- und Fluoreszenzfähigkeiten. Das Tool bietet auch umfangreiche messtechnische Funktionen wie Oberflächenrauhigkeitsanalyse, Linienbreitenmessungen, Stoß- oder Hohlraumerkennung und optische 3D-Oberflächenprofilierung. Die Maschine ist in der Lage, Merkmale so klein wie 20 Nanometer mit einer Genauigkeit von besser als ein Nanometer zu messen. Darüber hinaus ist dieses Tool in der Lage, bis zu 12-Zoll-Wafer zu handhaben und kann Testgeschwindigkeiten von bis zu 10.000 Tests pro Minute erreichen. 7700 umfasst eine Vielzahl von bildbasierten Testfunktionen, wie parametrische Tests, Stanzprüfung und Fehlerbildgebung. Parametrische Tests sind in der Lage, Leistungsänderungen aufgrund von Temperatur, Spannung und anderen Umweltfaktoren zu identifizieren. Die Werkzeugprüffähigkeit dient zur Erkennung von Strukturfehlern, Ertragsproblemen und Prozessvariationen an den Wafern. Die Fehlerabbildungsfähigkeit dient zur Erkennung nicht sichtbarer Defekte und zur Identifizierung von Verunreinigungen und Partikeln. Für höchste Genauigkeit bietet KLA/TENCOR 7700 Advanced Colour Variation 2.0 (ACV2.0) Bildgebung. ACV2.0 integriert NIR (Near-Infrarot) Bildgebung und erweiterte Farbanalyse, um komplexe Farbübergänge zwischen verschiedenen Schichten schnell und genau zu messen. Mit dieser Technologie ist das Asset in der Lage, Farbübergänge oder Anomalien von Pixel zu Pixel zu erkennen, die andernfalls vermisst werden können. Die KLA 7700 wird von der programmierbaren Software COMNET-I gesteuert, die eine schnelle und einfache Programmierung von Waferspezifikationen ermöglicht. Unter Verwendung von branchenüblichen LIMS, Arbeitsblättern und skalierbaren Lösungen kann das Modell eine Verbindung zu MES-Systemen herstellen, manuelle Programmierung und Skripting reduzieren und Prozesskontrolldaten mit statistischer Integrität in Echtzeit bereitstellen. Für die Werksbodenprüfung und -inspektion ist TENCOR 7700 in der Lage, sich in die Produktionslinie zu integrieren. Mit modularen Softwarepaketen kann die Ausrüstung an individuelle Kundenanforderungen wie automatisierte Rezepte, kundenspezifische Auftragsverarbeitung und kontrollierte Werkseinstellungen angepasst werden. Damit stellt das System sicher, dass jeder Wafer sowohl hinsichtlich der Messung als auch der Ausbeute genau und effizient analysiert wird.