Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293749242 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die hohe Präzision und Wiederholbarkeit bietet, um die Vorder- und Rückseite des Halbleiterbauelements zu analysieren. Entwickelt von der KLA, verwendet KLA 7700 Surfscan eine fortschrittliche optomechanische Ausrichtung, um Merkmale genau zu identifizieren und zu messen. Mit den neuesten branchenüblichen linearen variablen Differentialtransformatoren (LVDTs) und Infrarot-Laserverdrängungssensoren ist das System in der Lage, eine vollständige Waferkarte für die Rückseitentopologie einzelner Werkzeuge zu erstellen. Die verwendeten optoelektronischen Verfahren ermöglichen es dem Gerät, Fehler von wenigen Mikrometern bis zu einem Durchmesser von bis zu 35 mm zu erkennen. Um die genauesten Ergebnisse zu liefern, nutzt die Surfscan-Maschine Mehrfachstrahlbeleuchtungen und optische Ansteuerung von gitterbasierten optischen Stufen. Die Kombination dieser beiden Komponenten sorgt für genaue Messungen. Zusätzlich verwendet das Werkzeug kalibrierte Messpunkte, um die genaue Form eines KE sowie dessen Richtung und Winkel zu bestimmen. Neben der Erkennung von Funktionen und Defekten führt der Surfscan leistungsstarke Automatisierungsfunktionen ein, mit denen Benutzer eine Vielzahl von Geräten genau messen können. Durch den Einsatz fortschrittlicher Programmieralgorithmen werden Standard-Messtechniken genutzt, um Standort, Form und Größe der Funktionen schnell und effektiv zu erfassen. Das Asset bietet auch Optionen zur Messung der Wiederholbarkeit von Form zu Form sowie zur Messung globaler Parameter wie Dicke, Überlagerung, Ausrichtung und Steigung. TENCOR 7700 Surfscan verfügt über eine breite Palette von Unterkunftseinstellungen, die mehrere Wafergrößen und -typen unterstützen. Die kurzen Zykluszeiten und die Umweltverträglichkeit des Modells bieten Anwendern die Möglichkeit, eine schnelle und zuverlässige Messung in einer Reinraumumgebung durchzuführen. Dieses Merkmal ist ideal für die Halbleiterherstellung und -prüfung. Als Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation bietet 7700 Surfscan höchste Präzision und Genauigkeit für Anwender, die den Herstellungsprozess von Halbleiterbauelementen genau überwachen möchten. Durch den Einsatz fortschrittlicher optomechanischer Ausrichtungsmethoden und optoelektronischer Methoden ist das System in der Lage, kleine Funktionen sowie Defekte zu erfassen und gleichzeitig einen effizienten Workflow bereitzustellen. Durch die Kombination von Automatisierungsmerkmalen und konsistenten Messpunkten ist die Surfscan-Einheit eine ideale Lösung für die Halbleiterindustrie.
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