Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9171318 zu verkaufen

KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikinstrument, das für die Prozessüberwachung in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Entwickelt mit fortschrittlichen Technologien ermöglicht KLA 7700 Surfscan die Charakterisierung von Front-, Backend- und Dünnschichtprozessen. TENCOR 7700 Surfscan verbindet sich problemlos über Ethernet mit bestehenden Labor- und Fab-Produktionssystemen und bietet Kunden die Möglichkeit, schnell Daten zu sammeln, Ergebnisse einfach zu überprüfen und schnell auf Prozessexkursionen zu reagieren. Es umfasst integrierte Komponenten wie automatisiertes Wafer-Handling, In-situ-Spektroskopie, automatisiertes Wafer-Mapping und Fokus-Ionenstrahl-Imaging. Die Hard- und Software des Surfscan ermöglicht eine schnelle Datenerfassung und -analyse. Im Zentrum von 7700 Surfscan steht der Scankopf. Dies bietet die Präzision für die genaue Signalerkennung in extremen 8 "bis 200mm Wafern oder Fenstern, sowohl bei niedrigem als auch bei hohem Druck mit blitzschnellen Scangeschwindigkeiten von bis zu 542mm/s. Dies wird durch fünf unabhängig gesteuerte, hochauflösende, langlebige 400-Mikron-piezoelektrische Abtaststufen mit der patentierten KLA-Technologie Single- Scan™ ermöglicht. Der weitere Vorteil von Single- Scan™ ist die außergewöhnliche Ritztoleranz, die eine verbesserte Sichtbarkeit in Waferschichten und Zusammensetzung ermöglicht. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR 7700 Surfscan mit zwei simultanen Spektrometern ausgestattet, um Partikel im Spektralbereich von 50-2000 nm bis zu drei Nanometern zu messen. Beide Spektrometer umfassen eine breite Palette von Scan-Geschwindigkeiten und Flächendichte, so dass Wafer-Inspektion bis zur Mikron-Skala. Die Spektrometer ermöglichen es dem Surfscan auch, Partikel schnell zu identifizieren und mit nur einem Scan genau als Silizium, organisch, Silikon oder andere Partikel zu klassifizieren. Der Surfscan 7700 verwendet fortschrittliche Algorithmen, um einen unglaublich genauen dreidimensionalen Wafer-Scan bereitzustellen. Diese Algorithmen arbeiten mit den fokalen Ionenstrahl-Bildgebungsfähigkeiten des Systems zusammen und bieten eine unglaublich detaillierte Topographie und Kontaminationsabbildung von Wafern und deren Dicke oder Zusammensetzung. Der zweite Algorithmus des Surfscan hilft auch dabei, Rauschen zu reduzieren und die Empfindlichkeit zu erhöhen. Der Surfscan 7700 ist ein marktführendes Wafer-Prüf- und Messtechnikinstrument, das schnelle, genaue und zuverlässige Daten liefert. Von der Handhabung von Prozessexkursionen bis hin zur weiteren Charakterisierung von Dünnschichtscheiben bietet KLA 7700 Surfscan ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiterherstellung und -prüfung.