Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9198541 zu verkaufen

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 9198541
Wafergröße: 5"
Surfscan, 5".
KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät zur Messung und Charakterisierung der physikalischen, elektrischen und optischen Eigenschaften integrierter Schaltungen und mikroelektronischer Komponenten. KLA 7700 Surfscan System ist ein Schlüsselwerkzeug bei der Entwicklung, Charakterisierung und Herstellung von Halbleiter- und opto-elektronischen Bauelementen. Der 7700 verfügt über eine hochpräzise Messtechnik-Einheit mit überlegener Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Es wurde entwickelt, um Funktionen mit Größen von 1 Nanometer bis 6 Millimeter zu messen, die eine breite Palette von photolithographischen Techniken unterstützen, einschließlich E-Strahl, DUV, ArFi und sichtbare Bildgebung. Darüber hinaus kann die 7700 Oberflächentopographie mit einer Auflösung von 0,01 Nanometern messen. TENCOR 7700 Surfscan verwendet eine Vielzahl von messtechnischen Technologien, um eine Vielzahl von Tests durchzuführen, einschließlich Rasterelektronenmikroskopie (SEM), Atomkraftmikroskopie (AFM), konfokale Mikroskopie (CM), Weißlicht-Interferometrie (WLI) und optische Streutometrie (OS). Diese Techniken werden verwendet, um die Geometrie und Eigenschaften der Schaltungen auf diesem Wafer zu analysieren. Das SEM wird verwendet, um das Layout der Schaltung einschließlich der Wachstumsrate des abgeschiedenen Metalls auf der Oberfläche zu beobachten. AFM bietet ein hochauflösendes 3D-Bild der Oberfläche, das die genaue Charakterisierung der Oberflächenrauhigkeit und die genaue Kontrolle des Rauheitsetats des Wafers ermöglicht. CM ermöglicht zerstörungsfreie Bildgebung sowohl bei großen als auch bei kleinen Auflösungen und ermöglicht die genaue Charakterisierung der Geräteleistung oder Funktionen wie Pseudogeschwindigkeit und Kontakt. WLI ist eine beugungsbasierte Bildgebungstechnik, die den Zustand und die Stabilität von Beschichtungen und dünnen Filmen überwachen kann. OS erfasst die optischen Effekte der Oberflächentopographie der Leiterplatte und eignet sich für hochgenaue Maßmessungen und Analyse der Oberfläche der Wafer-Merkmale. 7700 Surfscan ist eine leistungsstarke Messtechnik-Maschine, die eine vollständige Flexibilität und Skalierbarkeit ermöglicht. Es kann für den manuellen Betrieb und das automatisierte Scannen mit seiner integrierten Hardware wie Datenerfassungs- und Auswerteplatten verwendet werden, oder der Bediener kann Instrumente von Drittanbietern wie eine Rasterelektronenmikroskop-Schnittstelle integrieren. Es kann auch eine Vielzahl von Sonden aufnehmen, einschließlich manueller und motorisierter Stufen, und mit einer Vielzahl von Software-Tools eingesetzt werden. Das Surfscan-Tool KLA/TENCOR 7700 ist ein zuverlässiges und kostengünstiges Messinstrument, das die Messung der physikalischen, elektrischen und optischen Eigenschaften von Schaltungen und Komponenten ermöglicht. Es wird in einer Vielzahl von Entwicklungs- und Produktionsanwendungen eingesetzt und ist ein wesentliches Werkzeug in der Halbleiterindustrie.
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