Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9221363 zu verkaufen

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ID: 9221363
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Wafer inspection system, 8" Automatic handling, 4"– 8" Patterned / Unpatterned wafer inspection system Defects maximum resolution 0.15µ Scan pitch: Max resolution – 12.5m between scan lines XY Coordinates accuracy within 1% 30 Wafers per hour throughput High sensitivity on after-etch and high topography application Uniphase argon ion laser Low contact wafer chuck, 200mm dia Blower assembly 1996 vintage.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung zur Identifizierung und Charakterisierung physikalischer Defekte auf Halbleiterscheiben. Mit einem Hochleistungsmikroskop und zugehöriger Bildverarbeitungssoftware ist dieses System in der Lage, selbst kleinste Merkmale auf einem Wafer zu erkennen und zu messen. Die 7700-Einheit nutzt modernste Optik und eine Bildverarbeitungsplattform, um hochauflösende Bilder aus einer Vielzahl von Wafertypen zu erzeugen. Es bietet ein vergrößertes Sichtfeld von 500 bis 8,000X und ermöglicht die Inspektion und Analyse von 20µm bis zu 50nm Funktionsgrößen. Dank der bildgebenden Funktionen und der leistungsstarken Software der Maschine können Anwender kritische Aufgaben zur Fehlererkennung und -klassifizierung ausführen. KLA 7700 Surfscan ist mit einer Bildnahtfunktion auf Waferebene ausgestattet, mit der Benutzer Bilder aus mehreren Stufen zu einem einzigen Bild kombinieren können. Dieser automatisierte Prozess hilft, falsche Positive und falsche Negative zu minimieren und gleichzeitig Wafertests mit hohem Durchsatz zu ermöglichen. TENCOR 7700 Surfscan Tool ist benutzerfreundlich und verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) für einfache Bedienung. Diese GUI ermöglicht es Benutzern auch, Bildgebungsparameter schnell zu konfigurieren, Bedingungen für verschiedene Bildverarbeitungstechniken einzurichten, Parameter für die Mustererkennung auszuwählen und Berichtsanforderungen zu konfigurieren. Die in 7700 Surfscan asset verwendete Software bietet leistungsstarke Mustererkennungsfunktionen. Es ist in der Lage, verschiedene Fehlertypen genau zu erkennen, zu messen und zu analysieren, einschließlich Anomalien, Streuung, Rauheit, Gruben und Hohlräume. Das Modell verfügt auch über eine Fehlerzuschreibungsfunktion, die es Benutzern ermöglicht, Wafer-Defekte an Prozessquellen zuzuweisen, wodurch Benutzer detaillierte Informationen über die zugrunde liegende Ursache erhalten. KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist eine effiziente, zuverlässige und kostengünstige Methode zur Inspektion und Analyse von Halbleiterscheiben. Seine erweiterten Bildgebungsfunktionen, Bildnahtfunktionen und leistungsstarke Mustererkennungsalgorithmen machen es zu einem idealen Werkzeug für fehlerbezogene Wafertests.
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