Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9234278 zu verkaufen

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ID: 9234278
Weinlese: 1997
Patterned wafer surface inspection system P/N: 313270 1997 vintage.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist eine moderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Messung der Topographie-, Muster-, Overlay-, Dimensions- und Defekteigenschaften eines Geräts verwendet wird. Das System ist in der Lage, Strukturen Größe bis zu 0,3 Mikron mit hoher Genauigkeit und Präzision zu messen. Es ist für vollautomatisches Scannen und Datenausgabe konzipiert und bietet erweiterte Softwarefunktionen für die Bildanalyse. KLA 7700 Surfscan beinhaltet ein einzigartiges, dual in situ Weißlicht-Interferometer (WLI) als Hauptelement für die optische Bildgebung. Dieses WLI hilft überlegene, berührungslose, dreidimensionale Bildgebung und schnelle Charakterisierung von Nanostrukturen und Mustern auch auf kontinuierlich gemusterten Oberflächen. Die Maschine verfügt über mehrere physikalische Attribute, die außergewöhnliche Inspektionsgeschwindigkeit und Durchsatz ermöglichen, wie die große Detektorfläche (2X) und mehrere Erkennungseinstellungen. Das Werkzeug kann mit mehreren Automatisierungsmodulen für verschiedene Anwendungen ausgestattet werden: von der Inspektion eines vollen Wafers bis hin zu gemusterten oder nicht gemusterten Oberflächen mit oder ohne Kartierung. Dies ermöglicht es, verschiedene Oberflächendefekte und Wafer-verzerrte Strukturen zu erkennen und zu analysieren. Darüber hinaus umfasst das Asset eine Vielzahl von benutzerdefinierten Parametern wie Inspektionsgeschwindigkeit, hohe visuelle Auflösung, dynamische Fokussierung und partielles Scannen. Alle diese Parameter können je nach Anwendung eingestellt werden. TENCOR 7700 Surfscan verfügt auch über erweiterte Softwarefunktionen, die eine intuitive Benutzeroberfläche sowie vielseitige Analyse- und Fehlerklassifizierungstools bieten. Das Modell kann auch in andere kostengünstige Controller und programmierbare Logikcontroller (SPS) zur Automatisierung und Prozesssteuerung integriert werden. Darüber hinaus enthält es integrierte hochauflösende Bildgebungs- und LRO-Funktionen (Local Region Optimization), die die Genauigkeit und Gleichmäßigkeit der Ergebnisse der gesamten Ausrüstung erhöhen können. Zusammenfassend ist KLA 7700 eines der besten Messtechnik und Wafer-Detektionssysteme, die heute auf dem Markt erhältlich sind. Seine einzigartigen Eigenschaften wie die Dual-In-Situ-WLI, mehrere Erkennungseinstellungen und Automatisierungsmodule, erweiterte Softwarefunktionen, integrierte programmierbare Logikcontroller (SPS) und LRO-Funktionen (Local Region Optimization) machen es zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für die Prüfung und Analyse einer breiten Pal.
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