Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9239241 zu verkaufen

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 9239241
Inspection system.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung. Es ist mit einem leistungsstarken und empfindlichen optischen interferometrischen Oberflächenprofiler ausgestattet, der hochgenaue Messungen an extrem komplexen Oberflächen mit Nanometerauflösung durchführen kann. Das System kann auch zur kritischen Fehlererkennung und -analyse verwendet werden. Es ist in der Lage, die Oberflächentopographie, Dicke, Seitenwandwinkel, Planarität und Linie oder Merkmalsbreite mit großer Genauigkeit zu messen. Die Surfscan-Einheit KLA 7700 bietet Platz für Wafer bis 200 mm Durchmesser und ist für eine optimale Messwiederholbarkeit ausgelegt. TENCOR 7700 Surfscan verwendet eine Paarung aus interferometrischer Optik und einer hochauflösenden CCD-Kamera, um das Oberflächenprofil, die Topographie, die Linienbreite und die Funktionsgrößen eines Wafers zu analysieren. Durch seine hochpräzise Scantechnologie ist der Surfscan in der Lage, detaillierte Bilder der Oberflächenmerkmale zu erfassen, die dann analysiert und mit vordefinierten Produktspezifikationen verglichen werden können. Der Surfscan bietet eine Vielzahl von Beleuchtungstechniken, um Korngeräusche und Oberflächenreflektivitätseffekte zu reduzieren oder zu eliminieren und ermöglicht so die genauesten Messungen. Die Surfscan-Software wurde entwickelt, um die Oberflächenbilder zu verarbeiten und die 2D-Profildaten mit Pico-Meter-Präzision quantitativ zu messen. Es ist auch in der Lage, Fehlerstandorte zu analysieren und mit etablierten Tools und Algorithmen zu identifizieren. Diese Messungen können dann zur Ermittlung von Ertrags- und Fehlerbehandlungen sowie zur Bestimmung von Konstruktionsregeln für die nachfolgende Waferbearbeitung verwendet werden. Die Surfscan Schnittstelle mit einer Vielzahl von Betriebssystemen, so dass es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet. Es gilt im Allgemeinen als eines der genauesten derzeit verfügbaren Wafer-Prüf- und Messtechnik-Systeme. Die Maschine ist auf Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt, sodass sich die Anwender auf konsistente und genaue Ergebnisse verlassen können. Schließlich wird 7700 Surfscan von einer umfassenden Bedienungsanleitung und technischen Support-Dokumentation begleitet, die die Benutzer durch die Einrichtung und die Fähigkeiten des Instruments führt.
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