Gebraucht KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9284333 zu verkaufen

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KLA / TENCOR 7700 Surfscan
Verkauft
ID: 9284333
Inspection system.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät, das zur Inspektion und Charakterisierung der Oberfläche von Chips für Halbleiterbauelemente verwendet wird. Seine hochauflösende CCD-Kamera ermöglicht die Messung der Oberflächenfehler an einem Gerät und bietet eine hohe Genauigkeit bei der Bestimmung von Abmessungen und Topographie. Das Messtechnik-System ist nützlich, um zu untersuchen, wie gut ein Prozess während des Chip-Herstellungsprozesses gesteuert wurde. Es ist zur Metallabscheidung, Oberflächenrauhigkeit und Profilprüfung fähig und verwendet auch optische Bildgebungs- und optische Streutechniken. Mit seiner CCD-Kamera kann KLA 7700 Surfscan die Profilform, Linearität, Steigung und das Seitenverhältnis verschiedener Funktionen auf einem Chip beurteilen. Darüber hinaus ist das Gerät sowohl zur 2D/3D-Oberflächenfehlermesstechnik als auch zur Partikelprüfung in der Lage. TENCOR 7700 Surfscan umfasst auch bildgebende Hardware und Algorithmen zur Erkennung prozessbezogener Defekte wie Ungleichmäßigkeiten, große Partikel, Zuckerguss, Linienbreiten und Analyse der gesamten Flachheit von Wafern. Dies verbessert die Prozesskontrolle und die Produktausbeute. Es ist auch sehr genau in der Charakterisierung der optomechanischen Strukturen wie MEMS und Cavity Structures. Es ist in der Lage, die Fehlererkennung und Messtechnik auf Basis von Funktionen über mehrere Chips hinweg zu beschleunigen, um die Durchlaufzeit bei der Fehleranalyse und -optimierung erheblich zu reduzieren. Die Maschine verfügt über verschiedene Anpassungen für die Prüfung von Wafern bis zu einem Durchmesser von 450mm und bei hohen Geschwindigkeiten mit einer maximalen Geschwindigkeit von 2.500 Wafern/Std. Die Hardware ist robust und vibrationsfrei und somit ideal für den Einsatz in einer Produktionsumgebung. Es ist auch in führende ERP-Systeme für nahtlose Workflow-Integration und Automatisierung integriert. Darüber hinaus ermöglicht seine intuitive Benutzeroberfläche es Benutzern, Waferergebnisse schnell und einfach zu speichern und abzurufen. Abschließend ist 7700 Surfscan ein zuverlässiges und leistungsstarkes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool. Es ist die ideale Lösung zum Testen und Analysieren der Oberfläche von Chips für Halbleiterbauelemente und gewährleistet eine hohe Genauigkeit, Geschwindigkeit und Prozesssteuerung.
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