Gebraucht KLA / TENCOR 7700 #9377288 zu verkaufen

KLA/TENCOR 7700 wafer testing and metrology equipment ist ein vielseitiges, leistungsstarkes System, das eine effiziente Prüfung und Messtechnik von Halbleiterbauelementen ermöglicht. Es wurde entwickelt, um eine effiziente und genaue Messtechnik für eine Vielzahl von Geräten bereitzustellen, einschließlich Transistorstrukturen, kritische Abmessungen, Dotierstoffkonzentration und Kontaminantentests. Das Gerät ist in der Lage, Wafer bis zu 18 Zoll Durchmesser mit bis zu acht Kammern zu testen. Die Maschine KLA 7700 ist mit einem integrierten automatischen automatischen Wafer Handler (AWH) ausgestattet, der eine effiziente und zuverlässige Prüfung einer Vielzahl von Gerätegeometrien ermöglicht. Das Werkzeug kann eine breite Palette von Testmessungen aufnehmen, die optische und elektrische Analysen sowohl in eigenständigen als auch in modularen Konfigurationen umfassen. Die Software VersaMetric™ Feature Extractor des Asset ermöglicht es Forschern, Funktionen einfach zu extrahieren und die Ergebnisse durch anpassbare grafische Bildschirme zu visualisieren. Das Modell TENCOR 7700 verwendet für seine Messungen eine proprietäre, fortschrittliche ultraviolette (UV) Lichtquelle. Diese Lichtquelle ist einstellbar, um unterschiedliche Geräteverhaltensweisen zu berücksichtigen und auch bei niedrigen oder hohen Temperaturen eine genaue Datenerfassung zu ermöglichen. Die Option Fokusvariation des Geräts ermöglicht auch die Kalibrierung der Strahlfleckengröße für unterschiedliche Gerätegeometrien. Für die In-Line-Analyse verwendet das 7700-System einen berührungslosen kapazitiven Messsensor, der extrem kleine Unterschiede in leitfähigen Materialien erkennen kann. Diese Funktion ermöglicht es dem Gerät, Wafer sowohl auf elektrische als auch auf strukturelle Defekte schnell zu testen, wodurch subtile strukturelle Schwankungen oder Geräteverschlechterungen im Laufe der Zeit erkannt werden können. Insgesamt bietet die Maschine KLA/TENCOR 7700 eine breite Palette von Test- und Messtechnik-Lösungen für Halbleiterbauelemente. Es nutzt eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, wie die Software VersaMetric™ Feature Extractor und die Option Fokusvariation, um hochgenaue und effiziente Tests zu gewährleisten. Der berührungslose kapazitive Messsensor des Werkzeugs ermöglicht die Inline-Analyse und Erkennung kleiner Defekte, wodurch die Genauigkeit der Ergebnisse des Vermögenswertes verbessert wird.