Gebraucht KLA / TENCOR 7700M Surfscan #59524 zu verkaufen

KLA/TENCOR 7700M Surfscan ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät für Halbleiterhersteller. Es nutzt sowohl optische als auch elektrische Abtasttechnologien, um Wafertests von Einzelwerkzeugtests bis hin zu vollständigen Wafer-Ebenheitsmessungen auf einer Vielzahl von Substraten durchzuführen. Das System umfasst auch erweiterte Fehlererkennung und Klassifizierung. Das Gerät verfügt über eine große, automatisierte 7.7 'by 11.2' -Stufe, die eine präzise X-Y-Theta-Ausrichtmaschine verwendet. Eine programmierbare Z-Achse sorgt für einen präzisen, kräftearmen Kontakt zwischen dem elektrostatischen Spannfutter und dem Wafer, während ein leistungsstarkes Vision-Subsystem eine Echtzeitausrichtung mit dem Wafer-Spannfutter ermöglicht. Eine hochauflösende Kamera identifiziert Ausrichtungsziele, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit über den gesamten Wafer gewährleisten. Das optische Moiré-Asset des Werkzeugs verwendet einen Laserliniengenerator mit variablem Winkel, um Oberflächenprofil, Ebenheit und andere kritische Oberflächeneigenschaften schnell und genau zu messen. Es verwendet ein Sichtfeld von bis zu 5˚ x 37.5˚ und ist in der Lage, Flachen in Tiefen von weniger als 0,1 µm bis größer als 7,0 µm mit einer Genauigkeit von besser als 0,3 µm zu messen. Für Wafertests ist KLA 7700M Surfscan mit einer Reihe fortschrittlicher elektrischer Testsonden zur kontaktbasierten Prüfung und Charakterisierung ausgestattet. Die Untersuchungen zeigen eine patentierte, Nanometer-Präzisionsanordnungstechnologie, und sind dazu fähig, aktuelle Leckage, Widerstand, Induktanz und Kapazität im gleichzeitig gesandten Kontakt zu prüfen, und nichtkontaktieren Weisen. Schließlich bietet TENCOR 7700M Surfscan erweiterte Identifizierung, Klassifizierung und Analyse von Waferdefekten. Defekte werden sowohl mit SEM- als auch mit AFM-Techniken erkannt und Fehlertypen in Echtzeit klassifiziert. Das Modell beinhaltet auch die Software, die für die Durchführung komplexer Fehleranalysen benötigt wird, einschließlich automatisierter Konturverfolgung und Partikelidentifizierung. Insgesamt bietet 7700M Surfscan Halbleiterherstellern eine extrem leistungsstarke, aber dennoch gut zugängliche Wafer-Test- und Messtechnik-Plattform. Die Kombination aus fortschrittlichen optischen und elektrischen Abtasttechnologien, präzisen Ausrichtungsmöglichkeiten und Fehleranalysen machen es zu einem idealen Werkzeug, um die Qualität und Zuverlässigkeit der heutigen hochkomplexen Halbleitersysteme zu gewährleisten.