Gebraucht KLA / TENCOR 7700M Surfscan #9313795 zu verkaufen
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ID: 9313795
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Wafer inspection system, 8"
Model no: 313246
Display monitor
Keyboard and trackball
(2) Cassette plates
Wafer transfer robot
Chuck, 8"
JDS UNIPHASE 2214-30SL Laser
Pre-aligner
ADC Board
Motor lamp drive board
Power drawer box
External fan
Exhaust line
Computer:
IDE Control board
SECS Port
CPU Board
CPU Parallel port
Hard Disk Drive (HDD)
PSF Control board
(2) Motor control boards
Interface board
PFE Board
Motor controller board
Power supply: 208 V, 20 A, 60 Hz, 2 Phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterindustrie. Die erweiterten optischen, bildgebenden und automatisierten Messfunktionen des Systems ermöglichen es, die kritischen Parameter eines Wafers sowie seine topographische Form schnell zu messen und zu analysieren. KLA 7700M Surfscan ermöglicht seinen Anwendern die zuverlässige Analyse und Inspektion von Wafern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Im Kern nutzt TENCOR 7700M Surfscan einen patentierten Scanmechanismus für die Wafer-Kartierung. Dieses Gerät verwendet ein lineares Array von geräuscharmen 16-Bit-linearen CCD-Kameras, die horizontal auf der Abtaststufe der Maschine angeordnet sind. Diese Kameras messen die elektrischen Eigenschaften des Wafers, wie Oxiddicke, sowie dessen Topographie. Die hochintegrierte Autofokus-Funktion des Substrats ermöglicht präzise Tests in Sekunden. 7700M Surfscan verfügt über eine überlegene Optik, die es ermöglicht, schnelle und genaue 3D-Messungen der Wafer-Oberflächentopographie durchzuführen. Es bietet eine bis zu sechsmal höhere Präzision im Vergleich zu herkömmlichen 2D-Systemen und bietet auch echte Farbbildgebung mit 4x Zoom und 5 Mikron Pixelgröße. KLA/TENCOR 7700M Surfscan verwendet eine spezialisierte Software Automation Suite, die Waferinspektions- und Musteraufgaben automatisiert. Es bietet Benutzern einen einzigen Eintragspunkt zum Anzeigen und Steuern von Daten aus dem Asset. Diese Software rationalisiert Operationen und führt die Operatoren effizient durch jeden Schritt des Prozesses. Was dieses Modell zusätzlich hervorhebt, ist sein Web Automation Server, der mehrere Tools zur Datenbanksynchronisation und Skriptausführung enthält. Dies trägt dazu bei, eine nahtlose Kommunikation mit der datenmanagementbezogenen Software des Geräts sowie anderen Host-Systemen innerhalb der Fabrik sicherzustellen. KLA 7700M Surfscan ist ein intuitives und kostengünstiges System, das ein verbessertes Maß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei Wafer-Test- und Messtechnik-Projekten bietet. Mit seiner leistungsstarken Kombination aus ausgeklügelter Scanoptik, automatisierten Messfunktionen und benutzerfreundlicher Software ist das Gerät eine ideale Wahl für Wafertest- und Messtechnik-Projekte in der Halbleiterindustrie.
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