Gebraucht KLA / TENCOR 80-00100 #9141855 zu verkaufen

KLA / TENCOR 80-00100
ID: 9141855
Film thickness measurement systems P/N: 387-1191.
KLA/TENCOR 80-00100 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik zur präzisen, automatisierten Messung und Analyse von Dünnschichtschichten auf Halbleiterscheiben. Das System simuliert das tatsächliche Ansprechen von Geräten auf dem Wafer, so dass der Benutzer die Dicken und anderen Eigenschaften der Folien und Strukturen auf dem Wafer schnell und genau messen kann. Es ist auch in der Lage, während des Herstellungsprozesses verursachte Fehler zu erkennen und Qualifikations- und Prozesskontrolloperationen zu unterstützen. Die Einheit KLA 80-00100 besteht aus einem Großrechner und einer Anzahl unabhängiger Kopfmodule, die jeweils die erforderlichen Komponenten für den Messvorgang enthalten. Das Mainframe verfügt über eine hochpräzise optische Maschine zur Gewinnung der Daten und Datenverarbeitung. Die Optik ist in der Lage, im Transmissions-, Reflexions- und Emissionsmodus zu arbeiten, und wurde entwickelt, um maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen zu gewährleisten. Die Kopfmodule umfassen einen Bewegungsregler, einen Abtastmotor, optische Komponenten, Transmissions- und Abbildungssensoren und eine Lichtquelle zur Beleuchtung, die alle zusammenwirken, um die Position des Kopfes gegenüber dem Wafer zu steuern. Darüber hinaus ist der Kopf in der Lage, eine Reihe von Zubehör und Linsen zu montieren, so dass der Benutzer das Werkzeug für bestimmte Testanwendungen konfigurieren. TENCOR 80-00100 Asset wird mit der Software geliefert, die für die Testplanung und -ausführung benötigt wird. Es ist in der Lage, kombinierte Film- und Fehlermessungen durchzuführen sowie eine genaue 3D-Oberflächen- und Profilabbildung von IC-Strukturen bereitzustellen. Der Benutzer kann das Modell auch programmieren, um Operationen wie Parameterverfolgung, Prozessüberwachung und die Emulation von Prozessrezepten auszuführen. 80-00100 Ausrüstung ist in der Halbleiterindustrie aufgrund seiner Präzision, Genauigkeit und automatisierten Betrieb weit verbreitet. Es ist hochgradig konfigurierbar und kann an eine Vielzahl von Testanwendungen angepasst werden. Es gilt auch für seine zuverlässige Datenausgabe, die wertvolle Erkenntnisse für die Geräteentwicklung und Prozessoptimierung liefert.
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