Gebraucht KLA / TENCOR Acrotec 6020 #293607188 zu verkaufen

ID: 293607188
Weinlese: 1999
Inspection system PC HDD 1999 vintage.
KLA/TENCOR Acrotec 6020 ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät. Es kombiniert eine breite Palette fortschrittlicher messtechnischer Funktionen und leistungsstarker Softwareoptionen, um eine Plattform zur Verbesserung der Prozesskontrolle und zur Gewinnung kritischer Einblicke in ertragsbegrenzende Parameter bereitzustellen. Es liefert genaue und wiederholbare Messungen mit einem Minimum an Eingriffen des Bedieners, robustem Umgang mit Wafern und automatisierter Ausrichtung und Inspektion. Dieses System verfügt über eine Kombination von Lichtfeld, Dunkelfeld und Laserbeleuchtung bildgebenden Werkzeugen, geschichtet auf einer 5-Achsen-Stufen für die präzise Handhabung von Wafern in verschiedenen Winkeln. Mit Hilfe eines präzise abstimmbaren Lasers und Autofokus-Techniken ist KLA Acrotec 6020 in der Lage, die Dicke und das Profil von Dünnschicht- und Thermooxidationsschichten zu messen. Es nutzt die neuesten Bildgebungs- und Signalverarbeitungstechnologien, eine mehrdimensionale Spektralanalyse und eine Reihe ausgeklügelter Algorithmen, um branchenführende Mustererkennungsfunktionen bereitzustellen. Mit seinem voll konfigurierbaren Hardware-Setup bietet TENCOR 6020 automatisierte berührungslose Messungen unterschiedlichster Materialien und Prozesse. Es wurde entwickelt, um Parameter wie Linienbreiten, Facettenwinkel, Ätztiefen und vieles mehr auf Halbleiterscheiben verschiedener Größen zu messen. Das Gerät ist auch in der Lage, die schwierigsten Messungen wie die Analyse kontrastarmer Ziele und komplexe Strukturgeometrie zu handhaben. Darüber hinaus nutzt diese Maschine fortschrittliche Fehlererkennungs-Tools, wie erweiterte Muster-Matching-Algorithmen, um Fehler zu identifizieren und zu charakterisieren, die zu Ertragsverlusten führen können. Seine statistischen Prozesssteuerungsalgorithmen ermöglichen die rechtzeitige Erkennung von Prozessdrift sowie bessere Entscheidungen über Produkterträge. Acrotec 6020 ist ein leistungsfähiges und genaues Wafer-Test- und Messtechnik-Tool, das zuverlässige Daten und wiederholbare Ergebnisse liefert. Seine erweiterten optischen Bildgebungs- und Messfähigkeiten, gepaart mit anspruchsvollen Software-Algorithmen, geben ihm die Möglichkeit, eine Vielzahl von Material- und Prozessparametern mit einer hohen Präzision zu messen. Mit seiner Fähigkeit, eine breite Palette von Parametern zu messen, und seiner überlegenen Fehlererkennungsfähigkeit ist KLA/TENCOR 6020 ein wesentliches Werkzeug zur Optimierung der Prozessleistung, zur Verbesserung des Ertrags und zur Steuerung der Kosten in der heutigen wettbewerbsfähigen Halbleiterindustrie.
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