Gebraucht KLA / TENCOR Acrotec 6020 #9292406 zu verkaufen

ID: 9292406
Inspection system.
KLA/TENCOR Acrotec 6020 ist ein fortschrittliches Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das für hochpräzise Fehlerinspektionen und Auswertungen entwickelt wurde. Mit seiner automatisierten Scan- und Bildgebungstechnologie bietet es die höchste Auflösung und Genauigkeit, die für die moderne Herstellung von Wafern und Substraten erforderlich ist. Sein automatisiertes Wafer-Scan-System erkennt, charakterisiert und zeichnet Fehler von der Partikelgröße bis hin zu Mikropartikeln auf der Oberfläche eines Wafers auf. Mit seinem fortschrittlichen OptiGauge-Fehlererkennungsmodus, der Sektorproben verwendet, kann es verschiedene Arten von Schutzbeschichtungen erkennen und analysieren, einschließlich Resist- und Barrierebeschichtungen. Die benutzerfreundliche Oberfläche und grafische Darstellung, kombiniert mit automatisierten Statistiken und statistischen Analysen, schafft eine einfach zu bedienende Umgebung für statistisch gesteuerte Messungen und Auswertungen. KLA Acrotec 6020 verfügt über hochpräzise Wafer Positionierung; schnelles Ansprechen auf das Erfassen der Waferkante; eine Vollfeldabtastfähigkeit; erweiterte Bildinterpolationsfunktionen zur Optimierung der Bildqualität; und fortgeschrittene bildgebende Algorithmen für eine hochpräzise Fehlererkennung und -analyse. Seine Waferausrichtungs- und Trimmfähigkeiten, die den höchsten Auflösungsanforderungen der Branche entsprechen, sorgen für eine optimale Positionierung und Präzisionsausrichtung des Wafers für einheitliche Messungen. TENCOR 6020 wird von der neuesten Wafer Messtechnik und Inspektionstechnik angetrieben. Es ist mit mehreren automatisierten Abbildungsmodi ausgestattet, darunter einem Fokus-Scan-Modus für die 3D-Abbildung der Wafer, einem Defekt-Scan-Modus und einem Monitor-Scan-Modus. Der Fokusmonitor-Scan nimmt Bilder in helikoidaler Ausrichtung auf und bietet eine 360-Grad-Ansicht der Oberfläche. Das Bildanalysemodul von Acrotec 6020 umfasst eine Vielzahl von Mess-, Klassifikations- und Analysefunktionen, mit denen Benutzer Fehlerzentren leicht finden und auswerten können. TENCOR Acrotec 6020 wird durch eine umfassende Suite von Wafertest- und Messtechnik-Software, einschließlich OASIS, PATRIOT und CORAIS, unterstützt. Die OASIS-Software ermöglicht genaue Stiction, Stress und Kontamination Testergebnisse, während die PATRIOT-Anwendung bietet statistische Prozesskontrolle für hochpräzise Wafer Messungen. Das CORAIS-Modul unterstützt mehrschichtige Bildgebung und Stressmapping und bietet zuverlässige Fehlererkennung und -berichterstattung. Das vielseitige und kostengünstige Wafer-Prüf- und Messtechnik-System KLA 6020 bietet höchste Effizienz und Genauigkeit der Wafer-Defektprüfung und -bewertung. Mit seiner automatisierten Scan- und Bildgebungstechnologie bietet es die gründlichste und präziseste Waferinspektion und -analyse, die es auf dem Markt gibt.
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