Gebraucht KLA / TENCOR / ADE 7600 Surfscan #9410326 zu verkaufen

KLA/TENCOR/ADE 7600 Surfscan ist eine moderne automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die vielseitige und fortschrittliche Anwendungen für Halbleitermessung, Inspektion und Ausbeute bietet. Das System verwendet erweiterte Funktionen für Waferinspektion, Messtechnik, elektrische Prüfung, OBIRCH, erweiterte Defektklassifizierung und automatische Fehlerüberprüfung, um die höchste Fehlererkennung und -klassifizierung zu ermöglichen. Angetrieben durch modernste Algorithmen bietet das Gerät maximale Ausbeute und Produktivität mit einem 500fachen Durchsatz früherer Systeme. KLA 7600 Surfscan verwendet eine einzigartige dreidimensionale optische Kollektionstechnik, die für die Durchgangsscheiben-Optomechanik optimiert ist. Es bietet eine unübertroffene messtechnische Auflösung und ermöglicht eine fortschrittliche messtechnische und Tiefenprofilanalyse, die eine Vergleichbarkeit von Echtzeit-Wafern ermöglicht. Dies ermöglicht auch einen effektiven Vergleich von Ätzprozessen zur Prozesssteuerung und Fehlerbehebung. Die erweiterte Defektklassifizierungsmaschine der Maschine enthält eine umfassende Bibliothek mit Fehlersignaturen und Eigenschaften, die eine automatisierte Fehlertypisierung, eine genaue falsch-positive Erkennung und die Charakterisierung von Variationen ermöglicht. Zusätzlich ist sie in der Lage, kritische Abmessungen (CDs) wie über, Kontakt, Linienbreite und Tiefe fehlerhaft zu klassifizieren. ADE 7600 Surfscan enthält auch eine leistungsstarke ADR-Lösung (Automatic Defect Review), die erweiterte Fehlerüberprüfungsoperationen ermöglicht, einschließlich Defektclustering und Ertragsleistungsanalyse sowie integrierte Klassifizierungs-Engine und OBIRCH. Dies bietet höchste Produktivität und Qualitätskontrolle in einer Vielzahl von Anwendungen. Das umfassende Hardware- und Softwarepaket des Tools umfasst eine umfassende Hardwarebibliothek und eine erweiterte Anwendungsplattform, die flexibel genug ist, um alle Anforderungen des Kunden zu erfüllen. Darüber hinaus verfügt es über automatisierten Fernbetrieb, vernetzbare Datenbanken und Kompatibilität mit verschiedenen CAD-Systemen. Die Anlage unterstützt sowohl 200mm als auch 300mm Wafer-Größen, und ihr kompaktes Design nutzt minimalen Platz, was sie für die Bereitstellung sehr kostengünstig macht. Abschließend ist 7600 Surfscan eine der fortschrittlichsten verfügbaren Wafer-Test- und Messtechnik-Lösungen. Seine erweiterten Messtechnik- und Fehlererkennungsfunktionen, kombiniert mit seiner breiten Palette an Hardware- und Softwareoptionen, bieten höchste Durchsatz- und Genauigkeitsstufen für maximale Ausbeute und Produktivität.