Gebraucht KLA / TENCOR ADE 9500 #9169420 zu verkaufen
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ID: 9169420
Ultra gauge multi-measurement system
Includes:
ASC 1000 Controller
Dual cassette
E-Station.
KLA/TENCOR ADE 9500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine fortschrittliche Fehlererkennung und -analyse ermöglicht. Das System verfügt über mehrere Technologien zur Untersuchung und Charakterisierung von Defekten auf einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Photomasken, Wafern und Flachbildschirmen. KLA ADE 9500 verwendet eine Kombination aus fortschrittlicher Optik, Hardware und Software, um eine präzise Messung von Funktionsgrößen, Linienbreiten und Fehlergröße und -position zu ermöglichen. Es wird von der KLATrimaxTM Imaging Machine angetrieben und ermöglicht es, hochauflösende Bilder von Funktionen bis zu 10 Nanometern bereitzustellen. Zusätzlich dient ein optisches Reflektometer zur präzisen Messung der Reflektivität verschiedener Materialien. Ein kundenspezifisches Mustererkennungswerkzeug ermöglicht die automatische Erkennung von Fehlertypen und Signalen in verschiedenen Phasen des Inspektionsprozesses. TENCOR ADE 9500 Asset wurde entwickelt, um Fehler selbst in den anspruchsvollsten und anspruchsvollsten integrierten Schaltungsdesigns zu identifizieren und zu analysieren. Es ist in der Lage, Defekte mit Oberflächentopographiehöhen von 10 bis 4.000 Angström zu erkennen und zu messen. Da diese Signale eng mit der Prozessausbeute zusammenhängen, ermöglicht das Modell ADE 9500 eine verbesserte Prozesssteuerung und Ausbeute-Optimierung. KLA/TENCOR ADE 9500 Geräte sind einfach zu bedienen und können schnell für spezifische Anwendungen eingerichtet werden. Es bietet auch verschiedene Automatisierungsstufen, von der Halbautomatisierung über manuelles Be- und Entladen von Substraten bis hin zu vollautomatisierten In-situ-Systemen. Das System integriert sich auch in das Messtechnik-Manager-Softwarepaket, mit dem Ingenieure die Waferoberfläche überprüfen und Fehlerdaten durch Echtzeit-SPC-Software analysieren können. Diese Funktion ermöglicht es Ingenieuren, schnell eine Vielzahl von Fehlersignalen auszuwerten und umsetzbare Informationen bereitzustellen, um Fertigungsprozesse zu optimieren und die Erträge zu verbessern. KLA ADE 9500 ist ein umfassendes, leistungsstarkes, benutzerfreundliches Werkzeug zur präzisen Fehlererkennung, Analyse und Prozesskontrolle. Es eignet sich ideal für Halbleiter-ICs und Flachbildschirme und bietet Ingenieuren die Informationen, die sie benötigen, um Prozessprobleme zu identifizieren, Inspektionszeiten zu reduzieren und den Gesamtertrag zu verbessern.
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