Gebraucht KLA / TENCOR ADE 9500 #9170555 zu verkaufen
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ID: 9170555
Ultra gauge multi-measurement systems
Includes:
ASC 2000 Controller
Dual cassette
E-Station.
KLA/TENCOR ADE 9500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist ein leistungsfähiges Werkzeug zur schnellen Messung von Prozessparametern während des gesamten Wafer-Herstellungsprozesses. Es kann die Dicke von Schichten und Schichten, die Tiefe von KEs, die Breite von KEs und die Parameter mehrerer Elektronenstrahlen messen. Es enthält auch eine integrierte Bibliothek für Tests und messtechnische Rezepte, die auf bestimmte Prozesse zugeschnitten sind. KLA ADE 9500 bietet flexible, schnelle und zuverlässige Prüf- und Messtechnik mit hohem Bewegungsumfang, präziser messtechnischer Genauigkeit und schneller Ansprechzeit. Es ist mit einer engen Integration zwischen dem Rasterelektronenmikroskop (SEM), der motorisierten Bühne und der Positioniereinheit aufgebaut. Die aus der motorisierten Stufe und der Positioniermaschine zusammengesetzte Station ist die Schlüsselkomponente für die Prüfung und Messung der Proben. Das SEM bietet einen Blick auf die Oberfläche der Probe aus verschiedenen Winkeln und die motorisierte Bühne ermöglicht extrem präzise Bewegungen, die für fortgeschrittene Messungen erforderlich sind. TENCOR ADE 9500 enthält auch eine Reihe fortgeschrittener Funktionen, wie AutoFocus, ein automatisches Verfahren zur Messung von Ebenheit und Rauheit der Geräte sowie Schichtdicke und Rauheit. Die Measurement Control Suite ermöglicht die Anpassung aller Tests und Messungen über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche. Darüber hinaus werden Layer-Mapping-Funktionen bereitgestellt, um die Dicke der Schichten auf hohe Genauigkeit korrekt zu messen. ADE 9500 verfügt über eine offene Architektur, die die Integration mit anderen Instrumentierungs- und Steuerungssystemen wie Rastersondenmikroskopen (SPM), Bühnenautomatisierungssystemen und einer Vielzahl von Computern ermöglicht. Darüber hinaus ist es sehr kompatibel mit Mehrbenutzersystemen, um flexible, schnelle und zuverlässige Tests zu ermöglichen. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR ADE 9500 ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool mit einer umfassenden Reihe von Funktionen zur genauen Messung einer Vielzahl von Prozessparametern. Es ist mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit gebaut und ermöglicht komplexe Messungen mit einer schnellen Reaktionszeit. Es ist sehr kompatibel mit anderen Systemen und bietet eine offene Architektur für die Integration mehrerer Instrumente.
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