Gebraucht KLA / TENCOR ADE 9500 #9389842 zu verkaufen

KLA / TENCOR ADE 9500
ID: 9389842
Ultra gauge multi-measurement system.
KLA/TENCOR ADE 9500 Wafer-Prüf- und Messtechnik ist eine führende Prozesssteuerungslösung, die präzise, zuverlässige und genaue Messungen für die Herstellung von Halbleiterscheiben bietet. Das System bietet eine Kombination aus automatisierter Software, Hardware und Messfunktionen, die Herstellern helfen, durch Echtzeit-Prozessoptimierung einen verbesserten Ertrag zu erzielen. Die Einheit KLA ADE 9500 besteht aus mehreren Komponenten, darunter der automatisierten Messstation (AMS), dem Rasterelektronenmikroskop (SEM), der Mustererkennungsmaschine (PRS), der automatisierten Fehleranalyse (ADA), dem Defektüberprüfungswerkzeug (DRS) und dem MDC. Das AMS ist eine automatisierte Echtzeit-Test- und Messtechnik-Station, die die elektrischen und physikalischen Eigenschaften von Wafern mit hoher Genauigkeit misst. Das SEM ist ein hochauflösendes bildgebendes Element, das Fehler auf der Oberfläche eines Wafers erkennen, charakterisieren und identifizieren kann. Die PRS wurde entwickelt, um Muster von Defekten in einem Wafer zu erkennen und zu charakterisieren. Auf diese Weise können Hersteller Prozessrezepte optimieren, um die Defektivität zu reduzieren. Das ADA ermöglicht die schnelle Identifizierung von isolierten Defekten, die mit dem SEM schwer zu erkennen sind. Das DRS ist ein Software-Tool, das eine benutzerfreundliche Oberfläche zur Überprüfung von Bildern und Daten aus mehreren Quellen bietet. Der Mass Data Controller (MDC) ist eine funktionsreiche Softwareanwendung, die alle Modellkomponenten für eine effektive Datenerfassung integriert. Das MDC ermöglicht die Gating, Messung und Fehlerüberprüfung von Produkt- und anderen Daten aus der gesamten Produktionslinie. Das MDC speichert und verarbeitet Daten und kooperiert vollständig mit bestehenden Technologien, um eine End-to-End-Prozesslösung zu schaffen. Mit TENCOR ADE 9500 Geräten können Bediener Fehler in Echtzeit schnell beheben, die Prozesseffizienz vorantreiben und den Ertrag über den gesamten Produktionszyklus verbessern. ADE 9500 beinhaltet auch die Rückverfolgbarkeit und sichere Datenarchivierungsfunktionen und gewährleistet eine strikte Einhaltung der Industriestandards. Dadurch profitieren Anwender von erhöhter Prozesssicherheit und verbessertem Fab-Durchsatz.
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