Gebraucht KLA / TENCOR / ADE Ultrascan 9600FA #9181889 zu verkaufen

KLA/TENCOR/ADE Ultrascan 9600FA ist eine integrierte Prüf- und Messtechnik für Wafer, die die Qualität von Halbleitern verbessert. Dieses System verfügt über eine fortschrittliche optische Messtechnik-Plattform, die eine präzise berührungslose Messung der Topographie und Oberflächen von Wafern, Düsen und Filmen ermöglicht. KLA Ultrascan 9600FA bietet schnelle, genaue Messungen und hohen Durchsatz, so dass Benutzer die Wafereigenschaften schnell und genau beurteilen können. ADE Ultrascan 9600FA kombiniert hochautomatisierte Wafer-Sondierung und genaue berührungslose optische Messtechnik in einer einzigen integrierten Plattform. Dieses Gerät ist mit 6148 optischen Sonden ausgestattet, die genau über der Waferoberfläche positioniert werden können, um Düsenparameter zu messen, sowie optische Messtechnik, die eine Auflösung auf Nanometerebene ermöglicht. Neben seiner Sondierung und optischen Fähigkeit verfügt TENCOR Ultrascan 9600FA über ein Wafer-Handling-Subsystem, das eine schnelle und robuste Bewegung von Wafern auf der XY-Bühne der Maschine ermöglicht, um eine effiziente Probenbearbeitung zu ermöglichen. Die Ultrascan- 9600FA wird von der KLA ImageMap-Technologie angetrieben, die eine erhöhte Genauigkeit bei der Messung der Oberflächentopographie ermöglicht. Die hohe Auflösung dieses Tools ermöglicht die Erfassung extrem feiner Detail- und Hochintensitätsmerkmale und ist somit eine ideale Wahl für die Inspektion von Werkzeuglevel-Merkmalen. Das Asset verfügt über eine automatisierte 3D-Bildgebung zur einfachen Erfassung von Topographiedaten von einer Vielzahl von Substraten. Die Analysefunktionen von KLA/TENCOR/ADE Ultrascan 9600FA umfassen schnelle Fourier-Transformation (FFT) sowie patentierte Technologie für Form- und Formmessungen von Merkmalen. FFT analysiert die Frequenz und Intensität von Merkmalen auf der Waferoberfläche und ermöglicht die Identifizierung von Merkmalen, während Form- und Formmessungen eine genauere Messung kleiner Merkmale und Prozesse ermöglichen. Neben seinen leistungsstarken optischen und messtechnischen Funktionen ist KLA Ultrascan 9600FA auch mit einem integrierten Controller, GPI/O und einem benutzerfreundlichen Softwarepaket ausgestattet, mit dem Benutzer Messungen und Analysen anpassen können. Dieses Modell ist in der Lage, eine Vielzahl von Parametern wie Schritthöhe, WAT-Rauheit und Line Spread-Funktionen zu messen. ADE Ultrascan 9600FA ist ein wesentliches Werkzeug zur Qualitätssicherung in der Halbleiterindustrie und bietet einen hohen Kundennutzen.