Gebraucht KLA / TENCOR AIT 1 #293751594 zu verkaufen

KLA / TENCOR AIT 1
ID: 293751594
Wafergröße: 6"
System, 6".
KLA/TENCOR AIT 1 SURFSCAN ist eine vollautomatisierte Messtechnik-Lösungsplattform für Test- und Messtechnik-Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Dieses Gerät bietet eine präzise, wiederholbare Messung der Wafereigenschaften wie Musterung, Overlay und Linienbreite. Das System nutzt fortschrittliche Sensoren und eine mehrfache gegenseitige Registrierungstechnologie, um präzise Messungen und Datenpunkte von einer Reihe von Substraten zu erfassen. Surfscan AIT 1 bietet präzises berührungsloses Scannen von Substraten mit hoher Auflösung, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Das Gerät unterstützt die Messung verschiedener Substrate, darunter Siliziumscheiben, Flachplatten, LCDs, organische und organisch-anorganische Hybridsubstrate. Die Plattform ist modular aufgebaut und für schnellen Durchsatz und geringe Kosten pro Messung optimiert. Diese Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen zu verarbeiten und bietet ultimativen Schutz mit einer integrierten Unterwellenlänge-Bildbrett-Prüfstation. Der automatisierte Prozess ermöglicht eine präzise, wiederholbare Datenerfassung mit einem optischen Breitfeld-Bildgebungstool, einem Overlay Diagnostic Asset und anderen Messtechnologien je nach Anwendung. Die integrierte Formerkennung und Klassifizierung ermöglicht präzise, wiederholbare Kurvenmessungen sowie Konturmessungen, Top-Down-Oberflächenbilder und Reflexionsprüfungen für Glyphen, Defekte und andere Arten von Merkmalen. Um mehrere Datensätze gleichzeitig zu verarbeiten, verfügt das AIT 1-Modell über ein automatisiertes Profilextraktionsmodul, das Funktionen wie Prozessfenster, Breiten und Linienbreiten extrahieren kann. Durch die Integration dieses Gerätes haben die Bediener die Möglichkeit, kritische Eigenschaften eines Gerätes oder einer Struktur schnell und effizient genau zu bestimmen. Zum Beispiel ist das High Speed Overlay Registrierungssystem in der Lage, bis zu 200 Wafer pro Stunde zu verarbeiten. Dies ist vorteilhaft für Endanwender, die schnell und häufig messbare Daten benötigen. So robust und leistungsfähig das Gerät KLA AIT 1 SURFSCAN ist, so flexibel ist es auch. Optik kann für eine Vielzahl von Aufgaben leicht geändert werden und die Maschine ist mit mehreren Konfigurationsfähigkeiten für Prozessfenster, Schwellenwerte, Messung, Wiederholbarkeit und andere wichtige Parameter ausgestattet. All diese Merkmale und die hochwertige automatisierte Messtechnik machen Surfscan AIT 1 zu einer attraktiven Option für Halbleiterhersteller.
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