Gebraucht KLA / TENCOR AIT 8010 #9278596 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT 8010 ist eine moderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die in der Lage ist, Fehler in Wafersubstraten, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden, zu erkennen und zu messen. Dieses fortschrittliche System kombiniert Hochgeschwindigkeitsabbildungen mit integrierten Mustererkennungsalgorithmen, um eine große Anzahl von Wafern zu inspizieren und prozessbezogene Defekte wie Hohlräume, Korngrenzen, Kratzer und ungleichmäßige Halbleiterschichten zu identifizieren. Die KLA AIT 8010 nutzt mehrere bildgebende Systeme, um umfassende Analysen großer Bereiche von Wafern zu ermöglichen. Es verfügt über zwei Hochgeschwindigkeits-CMOS-Zeilenkameras und ein Dual-Field Scanning Electron Microscope (DF-SEM). Das DF-SEM, eine Schlüsselkomponente des Systems, hat ein weites Sichtfeld und kann kleinere Defekte bis zu einer Größe von 10 Nanometern erkennen. Die Maschine wird von einer intuitiven Benutzeroberfläche angetrieben, die entwickelt wurde, um den Waferinspektionsprozess zu optimieren und so einfach und effizient zu gestalten. Es beinhaltet eine integrierte Fehleranalysesoftware, die Bilder aus den Hochgeschwindigkeits-CMOS-Kameras sowie dem DF-SEM automatisch verarbeitet. Die Software teilt dann den Wafer in verschiedene Bereiche von Interesse und vergleicht die Bilder mit einem vordefinierten Satz von Anforderungen, die eine schnelle Erkennung von anomalen Merkmalen ermöglichen. Zur Qualitätskontrolle umfasst TENCOR AIT 8010 auch Spezialsensoren zur Messung optischer, elektrischer und kompositorischer Eigenschaften. Diese Sensoren liefern detaillierte Informationen über die Dicke, Korngröße und elektrischen Eigenschaften eines Wafers. Submikronbereichsmessungen von Überätztiefen können auch mit einem Laserinterferometer durchgeführt werden. AIT 8010 ist für eine Vielzahl von Anforderungen konzipiert und kann auf vielfältige Weise konfiguriert werden. Es ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm und einer Dicke von bis zu 500 mm zu handhaben, und seine automatisierte Bühnenbewegung und seine Autofokus-Funktionen gewährleisten hochauflösende Messungen über eine Vielzahl von Probenpositionen und -größen. Insgesamt ist KLA/TENCOR AIT 8010 eine zuverlässige und robuste Maschine, die genaue Tests und Messtechnik für Wafer bietet, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Seine fortschrittlichen Bildgebungssysteme, integrierte Mustererkennungsalgorithmen und Spezialsensoren machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Qualitätskontrolle komplexer Waferkomponenten.