Gebraucht KLA / TENCOR AIT Fusion #9211135 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT Fusion ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die in der Halbleiterscheibenherstellung verwendet wird. Es erfüllt den „one-size-fits-all“ -Bedarf, indem es zwei Komponenten von zwei großen Unternehmen, KLA und TENCOR, kombiniert, um eine umfassende Lösung zu schaffen. KLA AIT Fusion vereint eine funktionsreiche, automatisierte optische Inspektionsplattform von KLA/TENCOR und ein Wafer-Messsystem von UCK. Mit diesen Komponenten wird eine umfassende Überwachungs- und Datenanalyseeinheit geschaffen, die hochauflösende, fehlerfreie Messungen von Geräten mit Mikrometergenauigkeit ermöglicht. Der Kern der Maschine ist ein kamerabasiertes Bildgebungswerkzeug, das eine Vielzahl von Waferdefekten wie Mikrocracking, Hohlräume und andere Probleme erkennen kann. Diese Anlage ist mit einem Messtechnikmodell auf Waferebene von TENCOR gekoppelt, das präzise Messungen von elektrischen Parametern auf Stempelebene vornehmen kann. Die Integration dieser beiden Komponenten ermöglicht die gleichzeitige Messung und Überprüfung von Geräteeigenschaften und Fehlern auf einem einzigen Wafer. TENCOR AIT Fusion bietet erweiterte Analysefunktionen nach dem Prozess, um Daten aus den beiden Komponenten zu verarbeiten. Diese Analyse ermöglicht die Auswertung unterschiedlichster Parameter wie Fehlertypen, Geräteausbeute und Prozessparameter. Darüber hinaus bietet es eine Reihe von Tools, um die statistische Prozesskontrolle (SPC) und die Erstellung von Berichten zu erleichtern. AIT Fusion eignet sich sowohl für die Entwicklung als auch für die Fertigung von Wafern. Es bietet eine genaue, umfassende und effiziente Möglichkeit, Geräte zu messen und zu qualifizieren und gleichzeitig den Überprüfungsprozess für Waferinspektionen zu ermöglichen. Diese Kombination von Komponenten und Eigenschaften macht KLA/TENCOR AIT Fusion zu einer attraktiven Option für den Einsatz in der Halbleiterbauelementfertigung.