Gebraucht KLA / TENCOR AIT Fusion #9273897 zu verkaufen

ID: 9273897
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Inspection system, 8" Dual open cassette BROOKS AUTOMATION Robot and aligner 2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT Fusion ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die komplette Wafer-Inspektionslösungen bietet. Das System wurde entwickelt, um eine breite Palette von Parametern auf Waferebene auszuwerten, einschließlich Topographie, elektrische und strukturelle Eigenschaften. Es kombiniert mehrere genaue optische Messtechniken mit fortschrittlicher Software, um hochzuverlässige und genaue Messpegel zu liefern. KLA AIT Fusion Unit besteht aus einer Wafer-Plattform, einer Bildverarbeitungsmaschine und Messkomponenten. Dadurch können gleichzeitig die Topographie und physikalischen Eigenschaften von Wafern bis 200 mm Durchmesser gemessen werden. Diese Messungen können dann verwendet werden, um Oberflächen- und Innenfehler zu erkennen und Ausbeute, Prozessgleichmäßigkeit und Wafergeometrie zu beurteilen. Das Tool verwendet eine erweiterte optische Ressource, die verwendet wird, um Bilder von verschiedenen Oberflächen der Wafer bei verschiedenen Vergrößerungen zu erfassen. Durch die Kombination von hochauflösender Bildgebung und ausgeklügelten Algorithmen können die bildgebenden Geräte des Modells Fehlstellen wie Oberflächen- und Untergrunddefekte auf dem Wafer erkennen und analysieren, die herkömmliche automatisierte Inspektionsmethoden nicht erkennen können. Das System kann auch zur berührungslosen und nichtinvasiven Messung der elektrischen Eigenschaften des Wafers mit einem Wafer-Prober verwendet werden. Der Wafer-Prober ist speziell für die automatisierte Inspektion und Charakterisierung von Wafer-Level-Merkmalen konzipiert. Der Wafer-Prober ermöglicht es Benutzern, die Impedanz, Kapazität, Widerstand, Leckstrom, Verlustleistung und andere elektrische Parameter des Wafers in verschiedenen Kontexten zu messen. Das Gerät bietet auch eine Reihe von Software-Tools für die Datenanalyse und -verarbeitung. Dazu gehören Analysefunktionen wie automatisierte Verarbeitung von Profildaten, Interpretation, benutzerdefinierte Berichtsgenerierung und Data Mining. Die Software kann auch verwendet werden, um auf dem neuesten Stand der zweiten Trendanalyse und Ertragsoptimierungsdaten zu sein. TENCOR AIT Fusionsmaschine ist weit verbreitet für die Forschung und Produktion in der Halbleiterindustrie. Es bietet Anwendern ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für Wafer-Tests und Messtechnik, mit dem sie die Oberflächen- und elektrischen Eigenschaften moderner Wafer mit beispielloser Genauigkeit und Zuverlässigkeit schnell und präzise analysieren können.
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