Gebraucht KLA / TENCOR AIT I #9173474 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT I ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die exakte Ergebnisse für komplexe Halbleiterbauelemente liefert. Es verwendet fortschrittliche Software-Algorithmen, Testmusterbibliotheken und integrierte Testplattformen, um Testprozesse zu automatisieren und zu optimieren. Das System unterstützt die Entwicklung von Wafern und Substraten für die Herstellung und qualifiziert sowohl stabile als auch dynamische Testströme. KLA AIT I umfasst fortschrittliche Techniken der Bildgebung und Reflexionsmessung, um kleinere Unvollkommenheiten oder Herstellungsfehler während oder nach der Geräteherstellung zu erkennen. Es verfügt außerdem über ein optisches Mikroskop, einen Oberflächenladungsanalysator und ein HDTV/SEM-Mikroskop zur Charakterisierung der neuen Materialien oder gekrümmten Geometrien. Es kann konfiguriert werden, um Parameter wie Kontur, Dicke, Höhe und Kristallgittermaß zu messen. TENCOR AIT-I integriert auch Hochdurchsatz-Bildanalysen - einschließlich Kantenerkennung und Texturanalyse -, um schnelle und quantitative messtechnische Daten bereitzustellen. Diese Funktion hilft, Prozesszykluszeiten zu reduzieren und Wafererträge zu verbessern. Die KLA AIT-I-Einheit ermöglicht ferner die Echtzeit-Überwachung von Photomaskendefekten, Defekten in der Lithographieschicht und Testantworten in eingehenden Wafern. Zusätzlich stehen halbautomatische Ausrichtungs- und Registrierungsfunktionen zur Verfügung, um Maske-zu-Maske-Vergleiche zu rationalisieren. Diese Maschine bietet auch Kompatibilität mit einer Vielzahl von Wafermaterialien, vom Stapeln bis zu SOI-Substraten. Darüber hinaus ermöglicht KLA/TENCOR AIT-I plattformübergreifende Kommunikation mit verschiedenen Backend-Prozessschritten wie Abscheidung, Lithographie, Ätzen und Messtechnik. Es liefert messtechnische Daten in jedem Prozessschritt sowohl für die Online- als auch Offline-Qualitätskontrolle. AIT I bietet eine Reihe leistungsfähiger Software-Tools für eine umfassende Datenanalyse. Diese Werkzeuge ermöglichen Drilldown und Resistivity Mapping, zusammen mit der allgemeinen Wahrscheinlichkeitsverteilung der Testergebnisse. Darüber hinaus kann es die Integration mehrerer Testsoftware-Pakete ermöglichen, die in verschiedenen Operationen in einer einzigen Testumgebung verwendet werden. AIT-I unterstützt fortgeschrittene Anwendungen wie die Entwicklung von feinen Linienmustern, die in Speicher-, Logik- und Embedded-Geräten verwendet werden. Seine enge Kontrolle der Prüfgenauigkeit und Wiederholbarkeit sorgt zudem für bessere Waferausbeuten und reduzierte Ausfallraten während der Serienproduktion.