Gebraucht KLA / TENCOR AIT II #9281087 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT II ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät. Es bietet hohen Durchsatz und Genauigkeit für verschiedene Arten von Prüfaufgaben auf Waferebene. Mit seiner fortschrittlichen Optik, hochgenauen Bewegungssteuerung und Software bietet KLA AIT II schnelle, zuverlässige Messtechnik und Tests für Muster, die auf Wafern gedruckt werden. TENCOR AIT II ist ein Hybridsystem, das Vollfeld-Bildgebungsfähigkeiten und Rasterelektronenmikroskopie (SEM) kombiniert. Es wurde entwickelt, um die geometrische Form, Größe, Position, Verteilung und Schichtdicke der auf der Oberfläche des Wafers gedruckten Muster zu messen. Das Gerät ist in der Lage, mit einer Geschwindigkeit von 5000-10000 Wafern pro Stunde (WPH) zu testen. AIT II verfügt über ein integriertes optisches Inspektionsmodul mit bis zu vier Kameras. Die Kameras werden verwendet, um das Waferbild zu erfassen und die Mustergröße zu messen. Nachdem das Muster gemessen wurde, wird es mit einem Satz von Standards verglichen, um festzustellen, ob es die gewünschte Prozessvorgabe erfüllt. Die Software der Maschine bietet auch verschiedene Analysemöglichkeiten wie Linienbreitenmessung, Bogenwiderstandsmessungen und Korngrößenmessungen. Mit dieser Software können auch Fehlerparameter definiert und kritische Abmessungen gesteuert werden. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über ein integriertes Rasterelektronenmikroskop (SEM), mit dem die Topographie des Wafers gemessen wird. Dies hilft, eine optimale Prozesssteuerung zu gewährleisten und Prozessausfälle zu verstehen. Das SEM erkennt auch genau das Vorhandensein von Verunreinigungen oder von Metallfolien, die auf der bearbeiteten Waferoberfläche vorhanden sind. Insgesamt bietet KLA/TENCOR AIT II modernste Funktionen für Wafertests und Messtechnik. Mit seinen hochgenauen Bewegungssteuerungssystemen, fortschrittlicher Optik, Musteranalysesoftware und dem integrierten Rasterelektronenmikroskop ist KLA AIT II eine ausgezeichnete Wahl für Prozesskontrolle und Fehlererkennung.