Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV #9054841 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT UV ist ein fortschrittliches Werkzeug für Wafertests und Messtechnik, das die komplette Lösung für die Halbleiterindustrie bietet. Es verwendet High-End-Optik, Bewegungssteuerung und Halbleitertechnologie, um die elektrischen, physikalischen und optoelektronischen Eigenschaften einer Vielzahl von Wafern zu bewerten. Die Wafermess- und Messtechnik kombiniert mehrere Messtechniken, um den Ertrag, die Leistung und die Zuverlässigkeit des Wafers zu bestimmen. Das System umfasst eine Reihe anspruchsvoller Messwerkzeuge und Techniken wie Spektralmessung, elektrische Impedanzmessung, Elektronenstrahlinduzierte Strommessung (EBIC), Kapazitätsspannungsmessung (CV), Elektrische Feldprofilierung (EFP) und Optische Interferenzmessung (OIM). Diese Messfähigkeiten werden verwendet, um genaue und detaillierte Informationen über die elektrischen und physikalischen Eigenschaften des Wafers bereitzustellen, wie Dicke, Plattenwiderstand, Dotierstoffprofile und Fehlergröße und -orte. Die erweiterten Wafer-Mapping-Funktionen des Geräts ermöglichen es dem Benutzer, einzelne Wafer schnell und präzise über eine Vielzahl von räumlichen Skalen zu überprüfen. Die Maschine ist vielseitig einsetzbar und in der Lage, eine Vielzahl von Waferspezifikationen zu handhaben, wie Substrate mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten und Bogen. Die Wafer-Mapping-Funktionen umfassen die Echtzeit-Ausrichtung und Auflösung von Wafern mit Nanometergenauigkeit. Das Werkzeug verwendet eine geschlossene Schleife mit intensiven ultravioletten Lichtquellen, die eine optische Hauptstrahlmesstechnik und einen CO2-Laser für die Sekundärstrahlmesstechnik bereitstellen. Das Asset verfügt außerdem über ein Inline-Wafer-Lademodul, das bis zu 200 Wafer gleichzeitig verarbeiten kann. Zusätzlich schließt das Modell eine Elementanalyseeinheit, eine Präzisionsbewegungskontrollausrüstung ein, um einzustellen und von den optischen Elementen, einem Hochleistungssignalverarbeiter und einem Hochleistungsdatenerfassungssystem zu positionieren. Zusammenfassend verwendet die UV-Wafer-Prüf- und Messtechnikeinheit KLA AIT mehrere fortschrittliche Techniken, um eine präzise Messung und Analyse einer Vielzahl von Wafern bereitzustellen. Es schließt eine Maschine des geschlossenen Regelkreises mit intensiven ultravioletten Lichtquellen, einer Elementanalyseeinheit, Bewegungskontrolle und einem Hochleistungsdatenerfassungswerkzeug ein. Darüber hinaus bietet das Asset schnelle und präzise Wafer-Mapping-Funktionen, mit denen der Benutzer einzelne Wafer schnell und genau überprüfen kann.