Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV #9099586 zu verkaufen

ID: 9099586
Defect inspection system, 8" 2002 vintage.
KLA/TENCOR AIT UV ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die ultraviolette (UV) Lichtquellen zur Inspektion und Analyse von Halbleiterscheiben verwendet. Dieses System wird bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen wie integrierten Schaltungen, Speicherchips und Transistoren eingesetzt. Die Prüfeinheit verwendet ein speziell entwickeltes großes Charakterisierungsmodul, das die physikalischen und optischen Eigenschaften der Probe überprüft und auswertet. Die UV-Maschine KLA AIT nutzt UV-Lichtquellen, die auf die Produktpalette der hergestellten Wafer abgestimmt sind. Die Lichtquelle wird dann in Verbindung mit einem hochgenauen Instrumentenpaket verwendet. Die Instrumente messen Parameter wie Dicke, Flächenwiderstand, Oberflächentopographie, Kontamination, Reflektivität und Dotierungskonzentrationen. Das Instrumentenpaket hat auch die Fähigkeit, die optischen Eigenschaften der Proben wie Extinktionskoeffizient, Gesamtdurchlässigkeit, Reflexion und Absorption zu messen. Das Tool ist mit einem erweiterten optischen Bildverarbeitungsmaterial zur Messung der Auflösung der Gerätestrukturen und -funktionen ausgestattet und kann hochauflösende Bilder bereitstellen. Das Modell ist weiter mit hochempfindlichen Photodetektoren und Bildaufnahmeeinrichtungen ausgestattet, um die notwendigen Bilder zu erfassen. Ein spezielles UV-Mikroskop ist in die Ausrüstung konzipiert, um die genaue Messung und Positionierung von Gerätestrukturen und -merkmalen zu erleichtern. Das Mikroskop ist in der Lage, mehrere Sichtfelder bis zu einer Tiefe von 25 Mikrometern zu scannen. TENCOR AIT-UV Wafer-Prüf- und Messtechnik-System ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Probentypen zu charakterisieren. Die Einheit kann die optischen Eigenschaften von Beschichtungen, Gläsern und Dielektrika messen. Es ist auch mit einer hochmodernen Abbildungsmaschine ausgestattet, die Submikronamplitudenfrequenzeigenschaften von Probenoberflächenstrukturen messen kann. Schließlich ist das Tool mit fortschrittlicher Software integriert, um Messergebnisse schnell und genau zu erfassen, zu analysieren und zu melden. Die Software verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer Messungen in Echtzeit überwachen und Testdaten verwalten können. Datenverarbeitungs- und Analysetools können auch für vorausschauende und fortschrittliche Qualitätsanalysen eingesetzt werden. Abschließend ist AIT-UV eine umfassende Prüf- und Messtechnik für Wafer, die ultraviolette Lichtquellen verwendet, um physikalische und optische Eigenschaften der Probe schnell und genau zu bewerten. Es ist mit einer Reihe von fortschrittlichen Instrumenten, bildgebenden Systemen und Software ausgestattet, um Proben zuverlässig zu charakterisieren und Messdaten für vorausschauende und fortschrittliche Qualitätsanalysen zu sammeln.
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