Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV #9124364 zu verkaufen
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ID: 9124364
Wafergröße: 6"-12"
Automated dark field defect inspection station, 6"-12"
For pattern wafers
3-Spot sizes included
Standard KLA AIT operator interface monitor
Standard KLA AIT operator keyboard
Trackball and joystick
Standard KLA media devices: FD, CD Drives
Operating system: Windows NT
CE Marked.
KLA/TENCOR AIT UV ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur genauen Erkennung und Messung von Defekten auf Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es wird verwendet, um die Qualität der Wafer zu bewerten, um die hohen Geschwindigkeits- und Genauigkeitsanforderungen der IC-Fertigungsprozesse zu erfüllen. Das System basiert auf der fortgeschrittenen optischen Bildaufbereitungstechnologie und zeigt zwei verschiedene modernste optische Systeme: UV und nano-Fourier gestalten infrarote (FTIR)-Mikroskope um. Das UV-Mikroskop erfasst Bilddaten bei hochauflösenden und rauscharmen Pegeln, während das FTIR-Mikroskop die chemische Analyse und den Nachweis von Partikeln auf der Oberfläche des Wafers erleichtert. Darüber hinaus ist es mit einer adaptiven, selbstpositionierenden Laserscantechnik und einer Autofokussiereinheit für schnelle und präzise Bildgebung und Messungen ausgestattet. KLA AIT UV ist eine tragbare, luftgestützte Maschine, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Waferdefekten zu messen, einschließlich Gruben, Kratzer, Partikel, transparente Partikel, Beulen und Verzug. Es kann auch verwendet werden, um Anomalien zu erkennen und Waferoberflächenanalysen durchzuführen. Zur Verbesserung der Flexibilität umfasst das Tool eine Vielzahl von Tools, wie ein Treiberprogramm, Wafer-Mapping-Software und KLA proprietäre AlignToVision Hochgenauigkeit Ausrichtung Steuerung. Für hohe Datentreue verfügt die Anlage über einen digitalen Signalprozessor zur Unterstützung fortschrittlicher Bild- und Datenverarbeitung. Um die Genauigkeit weiter zu verbessern, verwendet es eine mikroelektromechanische Abbildungstechnologie (MEMS) für feine Korrelationen und hochauflösende Messungen. Darüber hinaus bietet TENCOR AIT-UV Feedback zu Wafereigenschaften wie Kontrast, Hintergrund, Schärfe, Rauschen und Ausreißererkennung. Weitere Merkmale von AIT UV sind mehrere Testmodi, Remote-Betrieb über eine Web-Schnittstelle, robuste Modell-Fallback-Schutz und Unterstützung für verschiedene SEMI-Standards. Diese Ausrüstung ist auch entworfen, um Umwelt- und Arbeitsschutzanforderungen zu erfüllen, so dass es in rauen Produktionsumgebungen verwendet werden kann. Insgesamt ist KLA AIT-UV ein leistungsfähiges Qualitätskontrollsystem, das zuverlässige, hochauflösende bildgebende und messtechnische Funktionen zu einem erschwinglichen Preis bietet. Es ermöglicht schnellere und genauere Messungen und liefert detailliertes Feedback und Einblicke für mehr Produktionseffizienz.
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