Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV #9147837 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT UV ist eine Advanced Inspection Technology (AIT) Ausrüstung für automatisierte Wafertests und Messtechnik. AIT-Systeme wurden entwickelt, um die Herausforderung der Identifizierung und Messung der kleinsten Defekte auf Halbleiterscheibenoberflächen zum Zwecke der Qualitätskontrolle anzugehen. KLA AIT UV ist ein einzigartiges System, das ultraviolettes Licht und fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen nutzt, um die Oberflächen von Halbleiterscheiben mit höchster Genauigkeit zu inspizieren. Das Gerät verwendet zwei hochauflösende Kameras, um Bilder von jeder Seite eines Wafers zu erfassen, in dem das einfallende und das reflektierte Licht in konzentrischen Kreisen angeordnet sind und die Geschwindigkeit des Inspektionsprozesses je nach Anwendung und Bedarf gewählt werden kann. Die Kameras sind so konfiguriert, dass sie komplizierte 2D-Bilder erzeugen und diese Bilder an den Bordbildprozessor übertragen, der proprietäre Algorithmen zur Erkennung, Klassifizierung und Messung potenzieller Fehler auf dem Wafer anwendet. Die aufgenommenen Bilder können mittels spezieller Software gespeichert und weiter analysiert werden. Die Maschine verfügt auch über einen fortschrittlichen optischen Weg, mit dem sie Fehler bis zu einer Genauigkeit von einem Nanometer erkennen kann. Eine fortgeschrittene optische Linse wird verwendet, um ein hoch detailliertes UV-Bild des Wafers aus nächster Nähe zu projizieren und bietet einen kurzen Arbeitsweg für maximale Genauigkeit. Es ist in der Lage, mit dünnen Filmen, Partikeln, anderen Verunreinigungen oder Schichtfehlern beschichtete Wafer zu inspizieren und bietet eine vollständige Palette von Fehlerklassifizierungsmöglichkeiten. TENCOR AIT-UV verfügt auch über eine breite Palette von Automatisierungsfunktionen, um Inspektionsprozesse zu erleichtern. Echtzeit-Fehlercharakterisierung, Mustererkennung und Wafer-Sortiersteuerung sind einige der Merkmale, die eine breite Palette von Anwendungen für die Herstellung von Wafern und die Prozessüberwachung unterstützen. Darüber hinaus bieten die robusten Automatisierungsfunktionen wiederholbare Prüf- und Messverfahren, wodurch der Bediener den Durchsatz steigern und die Arbeitskosten senken kann. Schließlich sorgt seine intuitive Benutzeroberfläche dafür, dass Wafer-Inspektionsprozesse einfach konfiguriert und bedient werden, während die Softwareintegration die Kompatibilität des Werkzeugs mit anderen Industrieanlagen erleichtert. Die Anlage wurde entwickelt, um den höchsten in der Halbleiterindustrie geforderten Leistungsstandard zu erfüllen, und ihre Kombination aus hochauflösender Bildgebung, mikroskopischer Auflösung und Automatisierung machen sie zu einer idealen Lösung für Wafertests und Messtechnik.