Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV #9211161 zu verkaufen
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ID: 9211161
Wafer inspection system
Assy pillar AIT-UV
Raid array: (3) Hard disks
Robot type: BROOKS / PRI AUTOMATION ATM207-2-S-CE
Controller type: PRI ESC-212B
Setup disk P/N: 524140
PO Configuration:
AIT-Fusion UV final assy group
Advanced collection optics configuration with UV illumination
Adaptive mode
Technology:
Multi-spot optics: 2.2um,3.5 um and 5.0um Spot sizes
Automatic coordinate registration and alignment
Region based multi-threshold capability (RBMT)
Core technology Package
AIT Standard detection algorithms
Advanced detection algorithms
HLAT
Channel merge
Run time alignment
iADC and RTC Real time classification systems
Run time sampled image acquisition
Internal optical review microscope:
Includes:
(5) Microscope review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Bright field and dark field review modes
Autofocus capability
Integrated ULPA filter package
High resolution color flat panel display
Supports LAN connectivity over 10/100
Base-T and BNC (10 Base-2) connectors
Operations / Reference manual
KLARF File output
External panels, cleanroom white
HSMS Interface
Signal tower
(4) Colors: RYGB, standard mount 8"
Real time classification (RTC) package
Options:
Art dual open handler, 8"
iADC Option
Power supply: 208V, 3-Phase WYE
Short circuit load: 65kVA @ 208V
Full load: 75A
Operating system: Windows NT 4.0 file and printer connections (Supports).
KLA/TENCOR AIT UV ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Metrologie-Ausrüstung, die die beste Präzision und Wiederholbarkeit der Wafer-Testergebnisse bietet. Es verwendet fortschrittliche Optik und Beleuchtungstechnologie, um eine präzise optische Charakterisierung für die Wafer-Messtechnik zu liefern. Das System wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Wafer-Metriken zu messen, wie Stanzdicke, Kugelradius und mittlere Oberflächenrauhigkeit. KLA AIT UV kann sowohl planare als auch zylindrische Waferoberflächen messen und Testproben mit großen Oberflächen bis zu 12 Zoll handhaben. Was dieses Gerät einzigartig macht, ist seine Fähigkeit, hohe Genauigkeit mit Ultra-Präzision zu kombinieren. Es ist mit einer doppelseitigen Wafer-Chuck-Station ausgestattet, die die manuelle Wafer-Schaltung überflüssig macht. Es verfügt auch über zwei optische Sensoren und eine hochauflösende Kamera, die Präzisionsergebnisse sowohl schnell als auch effizient gewährleisten. Die fortschrittliche Hardware der Maschine ermöglicht auch erweiterte Datenanalysetechniken wie Kurvenanpassung und parametrische Oberflächenanpassung. TENCOR AIT-UV ist auch mit bis zu vier Ultrahochgeschwindigkeitsbewegungsmodulen erweiterbar, es ideal für die Größerskalaanalyse von Daten entweder von einzelnen Oblaten oder von Gruppendatenerfassungen machend. Neben der fortschrittlichen optischen und Beleuchtungstechnologie verfügt AIT UV auch über eine intelligente Automatisierungsarchitektur, die Wafertests vereinfacht und einen einheitlichen Datenaustausch für eine erhöhte Testabdeckung ermöglicht. Es ist vollständig in die KLA-Standarddatenerfassungssoftware integriert, sodass die Testergebnisse des Tools leicht zugänglich und analysiert werden können. Das Asset ist auch mit fortschrittlichen Überwachungstools und Status-LEDs ausgestattet, die eine schnelle und einfache Fehlerbehebung und automatisierte Protokollgenerierung ermöglichen. KLA/TENCOR AIT-UV ist ein Top-of-the-Line-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Modell, das Anwendern das Beste in Bezug auf Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es kombiniert vollautomatisierte Wafertests mit fortschrittlicher Messtechnik-Software, um einwandfreie Ergebnisse zu erzielen, den Waferertrag zu maximieren und die Kosten durch Nacharbeit zu minimieren. Die Erweiterbarkeit der Geräte ermöglicht auch die Prüfung und Analyse größerer Proben und Datensätze. Kurz gesagt, AIT-UV wurde entwickelt, um eine optimale Wafer-Testleistung zu gewährleisten.
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