Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV+ #9228059 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT UV + ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die zur Analyse und Rückmeldung für die Prozesssteuerung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es nutzt fortschrittliche UV-Bildgebungstechnologien, um hochauflösende Bilder für präzise Analysen zu erzeugen. Das System bietet eine breite Palette von messtechnischen Funktionen, die eine breite Palette von Geräteproduktgrößen von 1,5 Zoll bis hin zu größeren 12-Zoll-Wafern unterstützen. Das UV + nutzt eine Multi-Kamera-Einheit, die sowohl ladungsgekoppelte Geräte (CCD) als auch Hochleistungs-UV-Beleuchtung (UV) bei Niedertemperaturabscheidungsprozessen verwendet. Diese Kombination von Kameras ermöglicht die Abbildung von Funktionen bis zu 0,36 µm und kann für 2D- oder 3D-Bildverarbeitungsmodi konfiguriert werden. Die Maschine kann verwendet werden, um eine Reihe von Parametern zu messen, einschließlich Topographie, Spannung, Geometrien, Overlay, Overlay-Registrierung, Reflexionsgrad, Kontaktwiderstand und Materialschichten. Das Tool verfügt über automatisierte Erkennungswerkzeuge und Probersoftware zur vollautomatischen Analyse und Analyse. Die Software für das Asset ermöglicht es, benutzerdefinierte Operationen zu programmieren, um bestimmte Aufgaben für Wafer-Tests und -Analysen auszuführen. Das Modell verfügt über erweiterte Wafer-Inspektionsfunktionen und verwendet spezialisierte Algorithmen, um Musterfehler zu erkennen, einschließlich Rauheit, Hohlräume, Musterverschiebung, Überbrückung und fehlende Funktionen. Es kann auch eine Reihe von fortschrittlichen Materialien und erweiterte Schaltkreise, wie Kohlenstoff-Nanoröhren und nichtflüchtige Speichergeräte zu überprüfen. Analysemethoden können auch verwendet werden, um andere materialbezogene Merkmale wie Ätzrate, Schwellenstrom, Transistorcharakteristik und Stapelvarianz zu erfassen und zu messen. Das Gerät verfügt über Reinigungs- und Handhabungsfunktionen, die eine verbesserte Waferausbeute und Prozesskontrolle bieten. Es verfügt auch über eingebaute Handhabungsprozesse, die die Handhabung von Wafern automatisieren. Das System verfügt über Funktionen wie programmierbare Ziel-ID zur Unterstützung der erweiterten Protokollierung von Fertigungs- und Diagnoseoperationen. Insgesamt ist die KLA AIT UV + eine leistungsstarke und umfassende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die eine breite Palette von Möglichkeiten zur Prozesssteuerung und -analyse in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung bietet. Es bietet hohe Präzision und wiederholbare Messungen mit einstellbarer Flexibilität, um eine optimale Endproduktqualität zu gewährleisten.