Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV+ #9228105 zu verkaufen

KLA / TENCOR AIT UV+
ID: 9228105
Wafergröße: 12"
Darkfield inspection system, 12".
KLA/TENCOR AIT UV + ist eine hochgenaue Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die die genauesten und umfassendsten Messungen von Wafern ermöglicht, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Das System ermöglicht es Waferherstellern, die Form und Größe von Komponenten auf dem Wafer wie Neigungen, Stufen und Profilen genau zu messen. Die Einheit kombiniert mehrere Technologien, um eine umfassende Messung der Wafereigenschaften zu schaffen. Die Maschine startet mit einem Zweistrahl-Laserscanwerkzeug zur präzisen Abbildung der Form und Merkmale des Wafers. Der Laser scannt und erfasst ein Bild der Waferoberfläche. Dieses Bild wird anschließend analysiert, um eine 3D-Karte der Flächenelemente zu erzeugen. Damit einher geht eine optisch detektierte globale Topographiestufe, die zur Betrachtung der Gesamtebenheit der Oberfläche dient. Die UV + -Anlage umfasst eine patentierte ultraviolette Reflexionstechnologie, die materialspezifische Messungen der Topographie erfasst und direkte relative Materialmessungen ermöglicht. Mit dieser Technik kann das Modell Waferdicke, Konturen, Stufen und Dendriten mit höchster Genauigkeit messen. Zur Ausstattung gehört auch eine erweiterte Multichannel-Option für umfassendere Messungen sowohl von Materialien als auch von Formeigenschaften. Diese erhöhte Messfähigkeit wird unter Einbeziehung softwarebasierter Methodensteuerungswerkzeuge noch leistungsfähiger. Diese Funktionen ermöglichen es Waferherstellern, präzise Prüfprotokolle, die ihren Produktionsanforderungen entsprechen, schnell einzurichten und auszuführen. KLA AIT UV + System ist eine leistungsstarke und hochgenaue Wafer-Prüf- und Messtechnik-Plattform, die Präzisionsmessungen für Wafer in der Halbleiterindustrie bereitstellt. Die Kombination aus Laserscanning und UV-Reflexionstechnologien sorgt für genaue Messungen von Form- und Materialeigenschaften, während die softwarebasierten Methodensteuerungswerkzeuge eine effiziente und wiederholbare Prüfung ermöglichen. Zusammen ist das Gerät ein wertvolles Werkzeug zur genauen Messung der Form und Größe von Bauteilen auf dem Wafer.
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